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gemanging 2018-03-29 16:34

设计膜系时怎样选择监控波长?

如题,设计一个膜系时监控波长是如何选择的?选择的理由是什么?镀膜小白求解
rexchou 2018-04-26 16:44
根據膜厚吧 kT[]^Jtc  
若設定於轉折點容易發生異常,盡量選在轉折點過後,至少超過5~10%左右
875192871 2018-05-02 12:38
可以用晶控片或光控片 (主要看机台类型,有的支持晶控,有的支持光控)来监控膜厚,一般镀膜机都有这个功能吧
morningtech 2018-05-06 10:11
设计膜系时,用的波长叫 中心波长或设计波长。  按膜系来,一般选主波长位置,宽带的选中间。 折射率要准确。 76 #  
监控时用的波长为 监控波长。 根据光控系统和膜系来。尽量选择光量大,且响应相对平缓波段。 RHz'Dz>0  
又分极值控制和非极值控制。 8~Rja  
非极值控制,选光量停止位置 稍远离 极值点,在30~70%间为宜。 )p).}"   
最新型光控,可选极值附近,减少变更波长的次数,也可消除倍频监控时因色散带来的问题。  呵呵,呵呵。 *B#<5<T  
极值控制,选择余地小。分变波长极值控制和一个波长到底。 o>\jc  
以上是单波长控制,双波长以及宽带控制没用过。 vWXj6}  
^Qs-@]E-  
上海膜林科技有限公司,专业光学真空镀膜膜厚控制方案提供商,呵呵。
morningtech 2018-05-06 10:14
对常规宽带膜系,用晶控足矣。 )jn|+M  
>OBuHqC  
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上海膜林科技有限公司,专业光学真空镀膜膜厚控制方案提供商,呵呵。
奔跑的小骏马 2018-05-07 18:50
设计波长根据你的带宽要求来的,一般是以650nm。而镀膜时的监控波长是根据你设计对应的膜层厚度来管控的,厚的就给长一点,然后根据计算出的光控曲线进行调整,最好有极值点,且光量停止处需离光控极值点远一些。
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