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mainbomb 2006-12-11 20:53

关于磁控溅射薄膜表面的平整度?

一般的磁控溅射仪器对薄膜的表面能达到什么量级的平整度? aeyNdMk -  
gC%G;-gm  
如果在两次相同的条件下,表面的平整度差别比较大可能是什么原因引起的呢? ~8 H_u  
h<<>3A  
非常感谢!!
mainbomb 2007-03-11 10:56
这么久了还是没人理啊
j123456789 2007-04-09 21:12
你指的是表面粗糙度 还是其它意思?
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