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关于磁控溅射薄膜表面的平整度?
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mainbomb
2006-12-11 20:53
关于磁控溅射薄膜表面的平整度?
一般的磁控溅射仪器对薄膜的表面能达到什么量级的平整度?
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YKlYo~fGN9
如果在两次相同的条件下,表面的平整度差别比较大可能是什么原因引起的呢?
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