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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 hP3I_I[qF}  
LNXhzW   
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 NjYpNd?g  
#96E^%:zL  
我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测镀膜后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥? fcnbPO0M  
>/1.VT\E  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 O:xRUjpL  
`U2Z(9le  
前题是我是用晶控去控制,不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道!
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求!!!!!
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) p8Lb*7W  
鍍5Q膜厚 JY9Hqf  
先以macleod求出基板N與K ,6i67!lb  
再求出藥材N與K A-ir   
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? Xw9,O8}C7  
;Qk*h'}f  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? zHDC8m  
6M+~{9(S  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 J>!p^|S{  
WAqR70{KM  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ LeQ2,/7l:  
>@ h0@N  
再來 <JF78MD\  
"o;l8$)VL  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? 3"I 1'+  
mQ VduG  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 YDs/BF Z  
.Zf#L'Rf  
說到這邊其實還是要確定你的手法 *=^_K`y  
9DKmXL  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? Fypqf|  
]$0{PBndW  
你可能連基板都不對咧!! N4)& K[  
I>L lc Y  
去確認一下吧! 有問題再提出
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