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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 h4MBw=Tz~  
<w8H[y"c  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 }1+2&Ps50  
g}K/ba'  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ gm8Jx hL  
.h4Z\R`  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 oWi#?'  
SkVah:cF-  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) yf R0vp<&  
鍍5Q膜厚 v$(Z}Hg  
先以macleod求出基板N與K '"rm66  
再求出藥材N與K d7zZ~n  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? p:{L fQ  
4 2-T&7k  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? h<PS<  
r;H#cMj  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 Jcs /i  
?6x&A t  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ REi"Aj=  
DZb0'+jQ  
再來 2_?VR~mA#  
AxTFV ot  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? l ^}5PHLd  
r~fnK%|  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 {BaPK&x,  
`w@z Fc!"  
說到這邊其實還是要確定你的手法 N}{V*H^0QU  
.N\t3\9}  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? T xpj#JD  
mYXL  
你可能連基板都不對咧!! {`J!DFfur  
 z{V#_(  
去確認一下吧! 有問題再提出
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