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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 N3S,33 8s  
l^!0|/Vw  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 m!FM+kge  
,6cbD  
我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测镀膜后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥? X r  
Zu [?'  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 %WJ\'@O\  
Sop Ntcu!  
前题是我是用晶控去控制,不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道!
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求!!!!!
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) eEg1-  
鍍5Q膜厚 + !E{L  
先以macleod求出基板N與K zBrWm_R5T  
再求出藥材N與K 2F*Dkv  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? !4b; >y=m  
r['=a/.C  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? t?#vb}_  
qMW%$L\HA  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 8g2-8pa{  
6\S$I5  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ !lt\2Ae  
r-\T}e2Gz  
再來 FRJ:ym=E  
X{9JSq  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? 'nj&}A'  
mw4'z,1Q  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 B1i!te}*  
J!TK*\a2  
說到這邊其實還是要確定你的手法 LK-K_!F  
0D]Yz`n3  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? JK'_P}[]I  
I W] 841  
你可能連基板都不對咧!! _]PfeCn:j  
-$]DO5fY  
去確認一下吧! 有問題再提出
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