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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 (^@;`8Dy8  
uvK%d\d  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 X:} 5L> '  
bU g2Bm!y  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ N6 }i>";_;  
TQxc?o  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 5F_:[H =   
u3?Pp[tM<  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) YI(OrR;V  
鍍5Q膜厚 PFn[[~5V  
先以macleod求出基板N與K }Us$y0W\  
再求出藥材N與K 4>tYMyLt0  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? |h~/Zz=  
N)I T?  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? L" ^366M!  
W2LblZE!  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 Q1&dB{L  
L}S4Zz18  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 5$G??="K  
T|iF/p]F  
再來 JGNxJ S<]  
0*M}QXt  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? }c#/1J7  
u4^"E+y^S  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 o 0 #]EMr  
JY8"TQ$x  
說到這邊其實還是要確定你的手法 $U.'K!B  
]SR`96vG  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? w3cK: C0  
]mT} \b  
你可能連基板都不對咧!! z7pXpy \  
+&8Ud8Q  
去確認一下吧! 有問題再提出
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