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材料N值和K值
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oprs999
2018-02-23 17:00
材料N值和K值
求各位大神指点迷津
nT12[@:Tr
% n{W
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
md`ToU
m=9 N^_
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？
w gyO%
A1q^E(}O
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。
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`#f=&S?k
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109
2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng
2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843
2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量)
R u5&xIQ
鍍5Q膜厚
7j:{rCp3J
先以macleod求出基板N與K
/)1-^ju
再求出藥材N與K
:/NN =3e
js2700
2018-06-14 22:06
同求TFC计算 Tooling值的方法
knight627
2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu
2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm?
uE j6A
1 =<| h
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?
6\;1<Sw*
YZ l%JX
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到
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1VFqT'
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
? 6d4T
5@$4.BGcF
再來
)^H9C "7T
;#9| l=
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?
v|@n8ED|@K
rbPs~C-[
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的
ef&@aB
j\f$r,4
說到這邊其實還是要確定你的手法
3+3m`%G
5V~p@vC x
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?
Zk Uun iO
AnY)T8w
你可能連基板都不對咧!!
&|}IBu :T
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去確認一下吧! 有問題再提出
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材料N值和K值
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