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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 @fz0-vT,  
.J=<E  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 }EJAC*W,  
+95: O 8  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ eKpWFP 0  
1u`{yl*+?  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 {"rYlN7,  
:8( "n1^  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) e-&0f);i  
鍍5Q膜厚 [hhPkJf|f  
先以macleod求出基板N與K T)CEcz  
再求出藥材N與K )t?_3'W  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? +uqP:z  
pw, <0UhV  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? [}*xxy   
v)c[-:"z  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 BN]{o(EB  
ov xX.h O  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ 1b` `y  
*K#Ci1Q  
再來 paYvYK-K?  
b<E0|VW  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? <&CzM"\Em  
n/ m7+=]v  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 'Dx_n7&=  
PrQs_ t Ni  
說到這邊其實還是要確定你的手法 e$Npo<u  
h*lU&8)m\  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? QnMN8Q9  
i_' u:P<t  
你可能連基板都不對咧!! sry`EkS  
<c!I\y  
去確認一下吧! 有問題再提出
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