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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 8sR  
{(M&-~Yh  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 vNC$f(cQ  
5DkK'tCI9Z  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ (RDa,&  
ez^*M:K  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 *h*j%  
FtFv<UV  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) IW1GhZ41'  
鍍5Q膜厚 #.E\,N'  
先以macleod求出基板N與K ;#Jq$v)D  
再求出藥材N與K Gg=aK~q6  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm?  3}>:  
,zAK3d&hj  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? }b_R5U$@@  
MekT?KPQ{L  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 aW0u8Dz  
U8-Q'1IT&  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ G0I~&?nDa  
qhV,u;\.  
再來 {E3xI2  
z>cIiprX  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? 2YL`3cgfb  
pT("2:)x  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 wXr>p)mP  
x r-;,W  
說到這邊其實還是要確定你的手法 TqS2!/jp  
Y brx%  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? "%{,T  
RDUT3H6~  
你可能連基板都不對咧!! E|HSwTHe  
7))y}N:p  
去確認一下吧! 有問題再提出
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