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Macleod,TFCalc
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材料N值和K值
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oprs999
2018-02-23 17:00
材料N值和K值
求各位大神指点迷津
{]+ t<
]i#p2?BR
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
>>J3"XHX
KZjh<sjX|
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？
s A,bR|
QP%_2m>yhl
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。
tle`O)&uo
^;_~ mq.
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109
2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng
2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843
2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量)
gko=5|c,@
鍍5Q膜厚
bKpy?5&>
先以macleod求出基板N與K
'<o3x$6 *
再求出藥材N與K
Lyhuyb)k5^
js2700
2018-06-14 22:06
同求TFC计算 Tooling值的方法
knight627
2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu
2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm?
O w4 _0l&
(%fQhQ
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?
R@K\
6nk }k]Ji
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到
SxY z)aF~
K+`GVmD
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
? uYO]!V C
4 "2%mx:
再來
Vw I
<'4 Wne.z!
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?
@l CG)Ix<
4fKvB@O@.
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的
9} 6 _B|
j OV6 %
說到這邊其實還是要確定你的手法
@ SD XJJ h
P7-k!p"
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?
Ve(<s
|1%% c %
你可能連基板都不對咧!!
:Tpf8
iLnW5yy
去確認一下吧! 有問題再提出
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材料N值和K值
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