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Macleod,TFCalc
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材料N值和K值
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oprs999
2018-02-23 17:00
材料N值和K值
求各位大神指点迷津
G<n75!
'<BLkr# @
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
>kK@tJn
94BH{9b5
我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测镀膜后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥?
"TZY)\{L
M7cD!s@'I
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。
<1l%|
-smN}*3[
前题是我是用晶控去控制,不是光控。
洋洋0109
2018-05-11 15:54
我夜想知道!
huangweipeng
2018-05-16 22:09
同求!!!!!
ruby6843
2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量)
=JIceLL
鍍5Q膜厚
gZ$ 8Y7
先以macleod求出基板N與K
qqf`z,u
再求出藥材N與K
W_`]7RO8
js2700
2018-06-14 22:06
同求TFC计算 Tooling值的方法
knight627
2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu
2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm?
,r w4Lo
5MB`yRVv
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?
id1cZig
OR+qi*)
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到
TjTG+uQ
= 'o3 <}
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
i"0Bc{cQ
E{u6<