材料N值和K值

求各位大神指点迷津

怎么才可以获取正确的材料N值和K值

我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？

我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。

前题是我是用晶控去控制，不是光控。

洋洋0109	2018-05-11 15:54
我夜想知道！

huangweipeng	2018-05-16 22:09
同求！！！！！

ruby6843	2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) r{yIF~k@ 鍍5Q膜厚 /:A239=+? 先以macleod求出基板N與K E.$//P n\|1 再求出藥材N與K 056yhB

js2700	2018-06-14 22:06
同求TFC计算 Tooling值的方法

knight627	2018-08-06 13:46
这个可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,

johnyu

2018-08-13 17:24

5k?unit是什麼?5000nm?

你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?

你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到

另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ

再來

你的材料是什麼?介電質材料?金屬?

有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的

說到這邊其實還是要確定你的手法

例如:你基板是套入你量的穿透嗎?

你可能連基板都不對咧!!

去確認一下吧! 有問題再提出

查看本帖完整版本: [-- 材料N值和K值 --] [-- top --]