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Macleod,TFCalc
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材料N值和K值
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oprs999
2018-02-23 17:00
材料N值和K值
求各位大神指点迷津
N3S,33 8s
l^!0|/Vw
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
m!FM+kge
,6cbD
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？
X r
Zu [?'
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。
%WJ\'@O\
Sop Ntcu!
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109
2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng
2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843
2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量)
eEg1-
鍍5Q膜厚
+ !E{L
先以macleod求出基板N與K
zBr Wm_R5T
再求出藥材N與K
2F*Dkv
js2700
2018-06-14 22:06
同求TFC计算 Tooling值的方法
knight627
2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu
2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm?
!4b; >y=m
r['=a/.C
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?
t?#vb}_
qMW%$L\HA
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到
8g2-8pa{
6\S$I5
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
!lt\2Ae
r-\T}e2Gz
再來
FRJ:y m=E
X{9JSq
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?
'nj&}A'
mw4'z,1Q
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的
B 1i!te}*
J! TK*\a2
說到這邊其實還是要確定你的手法
LK-K_!F
0D]Yz`n3
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?
JK'_P}[]I
I W] 841
你可能連基板都不對咧!!
_]PfeCn:j
-$]DO5fY
去確認一下吧! 有問題再提出
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材料N值和K值
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