首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> Macleod,TFCalc -> 材料N值和K值 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 8hV4l'Pa72  
d3oRan}z  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 9 Eh*r@>  
o<|u4r={s  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ B4OFhtYE  
ml~ )7J  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 RCkmxO;b&  
~Q- /O~  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) z#5qI',L  
鍍5Q膜厚 _J>Ik2EF  
先以macleod求出基板N與K JpQV7}$  
再求出藥材N與K K/&  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? qE^u{S4Z@  
Swv =gu  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? pfk)_;>,  
-P]onD  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 \a:-xwUu<  
o>M&C X+j$  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ K>+c2;t;  
N[=R$1\Z  
再來 Kn+B):OY+  
0@!-+}i  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? )q+;+J`>  
)=h+5Z>E1  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 Oi!uJofW  
;>p{|^X0D  
說到這邊其實還是要確定你的手法 ds+0y;vc  
}8'bXG+  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? v~O2y>8Z  
\T!tUd  
你可能連基板都不對咧!! cj3P]2B#  
|>p?Cm  
去確認一下吧! 有問題再提出
查看本帖完整版本: [-- 材料N值和K值 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计