奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊?你做的高反膜是用的啥膜料? (2018-01-29 09:51) rQ _cH
奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊?你做的高反膜是用的啥膜料? (2018-01-29 09:51) /^jl||'H,:
ouyuu:如果有空的话,两台机各镀一下单层,然后测一下PEAK比对一下。 n=$ne2/ 一般SiO2折射率比较稳定,既然有充氧,吸收也不太会有问题。 :HY =^$\ 问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 ?mK&Slh. (2018-02-03 18:13) FAM:; F30
ouyuu:怀疑是排气能力差异。 0hGmOUO 开镀真空一样吗?都开充氧了吗?充氧压力多少? (2018-02-02 09:16) +By '6?22
dcfcwdx:[表情]单层的PEAK对比过,确实是有差异的,关键是怎样调节折射率和吸收呢? (2018-03-03 22:41) "H`Be
ouyuu:是什么差异呢?整体向上偏移?还是波峰更高,波谷更低? Z)E)-2U$@ 如果是吸收,那就改善充氧。 )< G(C,!,. 如果是折射率差异,那就改变蒸发速率。 I)FFh%m<}a (2018-03-06 13:05) 4{zy)GE|W
dcfcwdx:镀TiO2单层来比较是,较差的机台的波峰低,波谷高,也就是峰谷差小,还有,改善充氧就是改变APC压力吗? (2018-03-13 20:40) <<MpeMi
ouyuu:看起来像是折射率问题。 [m:cO6DM, 你这边用离子源辅助吗? _$>);qIP4 如果有,就改变一下离子源参数 /(s |'"6 如果没有,就改一下电子枪速率看看。 (2018-03-15 23:35) +j<WP
奔跑的小骏马:既然是折射率差异,那就直接按照两台机各自的折射率重新设计一下膜系不就好了么;如果要变更速率,那折射率不也一样跟着变了,变量不就多了么。 (2018-03-23 11:51) h!SsIy(
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