高反膜机差问题

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  9u_D@A"aC`  

奔跑的小骏马:DBR是什么意思啊？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  F Xp_`9.zH  

ouyuu:如果有空的话，两台机各镀一下单层，然后测一下PEAK比对一下。 )?k~E=&o  
一般SiO2折射率比较稳定，既然有充氧，吸收也不太会有问题。 0D}k
^W  
问题很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太稳定。 [q(}~0{"-  
 (2018-02-03 18:13)  *N%)+-   

ouyuu:怀疑是排气能力差异。 yz_xWx#9  
开镀真空一样吗？都开充氧了吗？充氧压力多少？ (2018-02-02 09:16)  !6`&0eY  

dcfcwdx:[表情]单层的PEAK对比过，确实是有差异的，关键是怎样调节折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  $kn"S>jV  

ouyuu:是什么差异呢？整体向上偏移？还是波峰更高，波谷更低？ cUZ^,)8 Z  
如果是吸收，那就改善充氧。 ?1lx8+  
如果是折射率差异，那就改变蒸发速率。 )\,hc$<=m  
 (2018-03-06 13:05)  &6@e9ff0  

dcfcwdx:镀TiO2单层来比较是，较差的机台的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，还有，改善充氧就是改变APC压力吗？ (2018-03-13 20:40)  k84JDPu#  

ouyuu:看起来像是折射率问题。 R83Me#&  
你这边用离子源辅助吗？ )gR !G]Y  
如果有，就改变一下离子源参数 ?"[h P=3J  
如果没有，就改一下电子枪速率看看。 (2018-03-15 23:35)  V+kU^mI  

奔跑的小骏马:既然是折射率差异，那就直接按照两台机各自的折射率重新设计一下膜系不就好了么；如果要变更速率，那折射率不也一样跟着变了，变量不就多了么。 (2018-03-23 11:51)  E Cx_ [|3{