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ouyuu 2018-01-23 14:53

关于电子枪的一些小知识

趁最近有空，把我手头的一些小知识和大家分享一下。 NM_Xy<.~E  
qg#|1J6e  
1，电子枪的知识（电气） O5eTkKUc  
V,qc[*_3  
电子枪有两个主要电源：（由两个高压接线柱接进） Kt3 ]r:&J  
一个给灯丝通上电流，加热灯丝提供热电子；一个给灯丝加上高压，把电子打出去。 {*J{1)2  
灯丝电流越高，电子就越多；灯丝电压越高，电子速度越快。 mIX[HDy:V$  
这两个都能提高蒸发速率，但一般说来，我们固定住电压，只调节电流。 /"%(i#<)xs  
WVfwt.Y  
电子枪的三个副电源：（由低压接线柱接进，一般是六根线） vMB`TpZ  
偏转电源，是提供一个磁场，使电子枪发射的热电子进行偏转，打到药品上。 `gFE/i18  
调整XP,YP就是调节的偏转磁场。 EFNi# D8s  
-%eBip,'yl  
扫描电源，是提供一个磁场，使电子枪发射的热电子不断的在药品上进行扫描， 扫描范围大的光斑就大，扫描范围缩小光斑就小。对应的就是XS和YS。 <|MF\D'  
电子枪的最远的那对磁极棒就是控制Y方向扫描的， 所以拆掉这个磁极棒，Y方向上就没有宽度了，看起来光斑就是一条线。 cq,0?2R`t  
$ 'obj  
电子枪的其他电路： $06[D91'  
电子束打到药品上以后，还会反弹起来。反弹的电子（二次电子）如果不加约束， 就会跑到镜片上去，使镜片带电。 fyE#8h_>4  
一是会吸附小颗粒造成麻点，二是影响离子源水晶片等的工作。 1SGLA"r  
所以有些电子枪还会加上一个二次电子抑制器，让二次电子往地面跑。 oX #WT  
K7CrRT3>6  
电子枪工作时，如果有药品飞溅进电子枪灯丝附近，会被电子枪灯丝加热蒸发， 导致高压处放电，这个放电过程其实很频繁，所以一般电子枪还有一个灭弧电路。 |kXx9vGq@  
如果灭弧电路发生故障了，电子枪就很容易熄火。
ouyuu 2018-01-23 15:04
2，电子枪的知识（机械） %!X|X,b^O  
电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。 kED1s's  
shAoib?Kw:  
1，冷却 TppuEC>  
电子枪因为功率高，所以一般都是水冷。 Dxlpo! ?#  
水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。 5m]N%{<jAB  
所以一定要防止空打。（会打穿坩埚盘） C6T?D5  
防止空打的措施有： GZwz4=`  
1，限制镀膜的最高电流 <+mYC'p  
2，限制镀膜的最长时间 L H8iHB  
3，坩埚放置及确认的制度（提前准备好装药的坩埚，放置在显眼处，关门前后的确认……） ' M'k$G@Z  
<X b B;  
2，枪头 G (o9*m1  
枪头是指灯丝及周边那部分，因为温度高，离材料近，枪头非常容易沾污，需要及时保养更换。 74p=uQ  
这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。 >{HQ"{Q  
如发现外观尺寸不佳，光斑不稳定，电子枪电流不稳甚至打火，枪头及灯丝寿命短等问题，请及时怀疑买到了假货，多安装几次确认一下就可以投诉了。 ^I CSs]}1  
比如日本电子的270度枪头，假货成本也就几百元。 -E(0}\  
真货厂家出厂价最低也要7000多。 P`xQL  
4{rqGC /  
3，坩埚盘 ~>"m`Q&[  
坩埚盘分为点状和环形，环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。 P< 5v\\  
坩埚盘常见故障有卡死，偏位，速度不稳定等。 fZ5zsm'N  
定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同，对坩埚位置要采取不同方式进行调整。 (/a#1Pd&  
^.HvuG},O  
4，挡板 #{DX*;1m  
挡板是非常重要的零部件，挡板设置不好会影响镀膜效果。 2]}4)_&d<e  
挡板高度越低越好，以电子枪束流打不打为限，可以用铝膜包覆挡板，然后开电子枪的最低电流做实验。 ni gn" r  
铝膜溶破就代表打到了，然后再往上调30mm左右。 5mYX#//:  
挡板速度越快越好，但以不打到其他部件，不掉药渣为限。 b?kY`LC  
新柯隆一般为1秒。 ,ut-Di=6  
挡板的打开及关闭位置的确认：坩埚中心点放一小灯（手机或者小头灯，越低越好） HPz3"3n!  
然后手动打开和关闭挡板，打开时伞架上无阴影，关闭是伞架上无照亮。 ^kO+NH40  
cM hBOm*  
5，故障 bQlvb  
电子枪原理简单，所以一般故障较少。 Z)^1~!w0  
多数故障是由于保养不良等原因造成的。 Rl/5eE8  
要注意高压导入的裸铜丝，枪头下面的底座陶瓷也属于耗材，最好每年更换一次。 LGdM40  
否则因为铜丝损耗（特别是压接处，会少量蒸发导致铜丝变细，接触不良） NZoNsNu*C.  
底座陶瓷绝缘变差造成故障。 ouE/\4'NB  
另外电子枪本体内有永磁铁，时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化， *t%Z'IA  
此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。 JJZu%9~[  
还有，电子枪电源通常会放在泵房，所以每年大修的时候， "\k| Z  
最好拆开护板用吸尘器打扫一下，毕竟几千伏高压的东西， 6Lc{SR  
太脏了会严重影响寿命及稳定性。
ouyuu 2018-01-23 21:34
3，电子枪相关的药品知识 84WX I#BH  
(3"N~\9m  
药品根据折射率分为低折射率（1.38～1.5）中折射率（1.5～1.8）高折射率（1.8以上）三类。 nwp(% fBo  
药品特性： _u+ 7>  
MgF2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，易吸水 VV{>Kq+&,v  
SiO2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，不耐碱， 2t4\L3  
           易失氧变成黑色SiO，镀膜时需要充氧。 * bd3^mP  
           绝缘电阻高，所以一旦熔融后无法再次蒸发。 <.mH-Y5i  
Al2O3：附着力强，耐水耐酸（塑胶片寿命要求高时，可用来打底） 6`@b@Kd  
ZrO2：附着力强，易形成不均质 ftG3!}  
TiO2：硬度高，折射率易变 ;=7K*npT  
au04F]-|j8  
一般颗粒药材，除SiO2外镀膜前都需要溶药， e P,bFc  
目的是为了将颗粒缝隙中的空气和杂质气体（如H2O)排出，以免镀膜中发生溅料。 o{6q>Jm  
i y8Jl  
各药品蒸发条件如下： m<49<O6o  
药品 gW,hI>  
蒸発源電流(mA)扫描(XS/YS)速率 lXg5UrW  
MgF230～6070/708～12
SiO2顆粒120～17070/7010～12
SiO2环形150～20040/7010～12
Al2O3340～38020/205～7
SiO30～60顆:70　固:406～10
ZrO2280～3500～305～7
Ta2O5（IAD)350～40020/203～4
TiO2350～400　0～103～5
zx19921216 2018-01-29 13:54
学习了，
rexchou 2018-02-01 14:10
ouyuu:3，电子枪相关的药品知识 J7* o%W*V  
药品根据折射率分为低折射率（1.38～1.5）中折射率（1.5～1.8）高折射率（1.8以上）三类。 b!P,+!<  
药品特性： %(1O jfZc  
MgF2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，易吸水 1>OlBp  
....... (2018-01-23 21:34)  A<ds+0  
g#=<;X2  
請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少
ouyuu 2018-02-02 01:12
rexchou:請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少 (2018-02-01 14:10)  2y - QH  
bzFac5n)Q  
0.02转每分
Optical_honor 2018-02-11 14:26
电子枪，是做电子显微镜的？
奔跑的小骏马 2018-02-24 10:32
祝家莹:电子枪，是做电子显微镜的？ (2018-02-11 14:26)  sE?%;uBb  
OkciL]  
镀膜机的好不。
光迹 2018-05-23 13:47
ouyuu:3，电子枪相关的药品知识 &- p(3$jn7  
药品根据折射率分为低折射率（1.38～1.5）中折射率（1.5～1.8）高折射率（1.8以上）三类。 ,O:4[M!$w  
药品特性： niS\0ZA  
MgF2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，易吸水 Zg_b(ks  
....... (2018-01-23 21:34)  Sqp91[,  
Jj ]<SWh  
很好的资料
光迹 2018-05-23 13:47
光迹:很好的资料 (2018-05-23 13:47)  \HD:#a  
"wVisL2+.  
感谢感谢
zksddn 2018-08-03 15:49
很好的资料，书上没有的，谢谢了！
wuldone 2018-08-12 16:44
多谢楼主  学到了
ouyuu 2018-11-08 08:45
电子枪的安全使用。 3 JlM{N6+  
在电子能量大于5KeV的时候，电子打到原子会激发X射线。 dM"5obEb  
所以使用电子枪设备需要有屏蔽X射线的措施，特别是视窗玻璃。 0}Kyj"-3  
正规厂家都会使用电磁屏蔽玻璃（派热克斯）来做视窗玻璃。 :S`12*_g"  
但市场上那些副厂，多数是耐热的石英玻璃，没有电磁屏蔽作用。 VaonG]Ues  
使用这种玻璃会对身体造成无法挽回的损失（特别是眼睛）  v?d`fd  
"SuG6!k3  
以下数据来源自新柯隆资料： ']!wc8m1"  
在使用普通石英玻璃的情况下，实测辐射值为：240000R/h ^K<!`B  
使用派热克斯（新柯隆原装）玻璃的情况下，实测辐射值为：0.2mR/h akj#.aYk  
从24万降到了万分之二，差不多是十亿倍的差距。 )REegFN@  
美国对使用阴极射线管电视机的辐射规定是银幕表面不超过0.5mR/h。 \1u^?cBd  
1q ZnyJ  
*根据计算，不锈钢只要0.2mm厚度即可将辐射控制在0.2mR/h以下，故设备本体不必做屏蔽。 a U<+ `  
门和腔体的缝隙上，缝隙不正对电子枪，X射线是直线行进的，只要缝隙够长，X射线就会在多次反弹中被吸收掉。 zl, Vj%d  
v)vogtAQa  
morningtech 2018-11-09 15:38
很好的知识点.
sosjinyan 2019-08-02 15:09
非常 有用， 多谢楼主。
罗先生 2019-08-22 09:25
很好的资料，谢谢
bilong 2019-11-08 22:37
感谢分享
chenenlin 2020-04-15 22:18
不点赞说不过去
知123 2020-04-21 15:25
非常感谢
小学僧 2020-10-30 15:05
实际工作中积累的宝贵经验，值得好好学习一下，为版主点赞。
shenhan0701 2020-12-09 16:26
感谢楼主分享，都是很实用的知识
fanrongwei11 2021-03-10 10:11
前辈总结的很详细，看过后确实长知识了，谢谢！
hhyfilm 2021-06-23 15:22
好文章
春风依旧 2021-10-13 14:05
整理的挺不错
春风依旧 2021-10-13 14:05
基础的往往更实用，赞一个
李某 2022-06-01 14:03
学习一下 感谢大佬
hezhiwei 2022-09-08 12:34
感谢版主的分享，增加知识了 。
五六七 2022-09-19 13:00
感谢楼主分享
bilong 2022-09-20 18:27
感谢分享 [gj>ey8T  
gongsc 2024-03-06 14:24
学习了
787666 2024-03-23 06:59
感谢分享
renlgj 2024-06-25 13:44
谢谢楼主，新人学习中
光學の翔 2024-06-25 15:20
感謝分享 資料很有用 謝謝~
cwl563590 2024-08-24 18:51
非常感谢分享
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