预融参数-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 预融参数 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

奔跑的小骏马	2017-12-28 09:55
预融参数谁手里有比较完善的氧化钛的预融参数啊！能不能资助一下。谢谢 I lR\ #

奔跑的小骏马	2017-12-29 07:47
没有大神来指点一二么

yzhuang	2017-12-31 13:16
我一般是快速扫描转圈预熔，功率设置比蒸镀时功率稍大一点，预熔时充少量氧气。

奔跑的小骏马	2018-01-06 08:20
yzhuang:我一般是快速扫描转圈预熔，功率设置比蒸镀时功率稍大一点，预熔时充少量氧气。 (2017-12-31 13:16) Q "r_!f [mxTa\ 充氧气是为何？快速扫描能够融透不？

ouyuu	2018-01-06 14:59
以40mm大小的坩埚举例。 ~\nBjM2 先中心30s，再分12个点转圈走3遍，每个点10s，然后在中心10s inPJ2uBD\^ 电流300mA~600mA左右，扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。

囊中蓄乾坤	2018-01-06 19:00
ouyuu:以40mm大小的坩埚举例。 n;HHogA 先中心30s，再分12个点转圈走3遍，每个点10s，然后在中心10s 4Ph0:^i_ 电流300mA~600mA左右，扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。 (2018-01-06 14:59) ukgAI<O% Hi!Jj 新科隆1900的就是12个点，是自动的，只要设置坐标就行了

奔跑的小骏马	2018-01-08 08:29
ouyuu:以40mm大小的坩埚举例。 mM.*b@d- 先中心30s，再分12个点转圈走3遍，每个点10s，然后在中心10s qL$a c}` 电流300mA~600mA左右，扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。 (2018-01-06 14:59) ^Jp&H\gI. V!%jf:k 光斑直径也就是XS/YS这个参数与实际的哪个长度单位对应？是mm、dm还是m？

奔跑的小骏马	2018-01-08 08:30
囊中蓄乾坤:新科隆1900的就是12个点，是自动的，只要设置坐标就行了 (2018-01-06 19:00) Dih6mTP{ j.~!dh$mg 光驰的也是一样的，转动半径给定后按照系统测算的点位坐标，自己查找位置坐标转动。

fly6947	2018-01-09 11:12
TI3O5是面蒸发材料可以不用转圈， h'J\|K^na hc (e$## 40%左右大小的光斑稍微移动把颗粒料大致融化；200mA AIb2k gK#mPcn^ 5%大小光斑在坩埚中心，一直加电流到光斑扩散至坩埚边

奔跑的小骏马	2018-01-09 13:47
fly6947:TI3O5是面蒸发材料可以不用转圈， (E,T#uc{ 40%左右大小的光斑稍微移动把颗粒料大致融化；200mA Gm*X'[\DD 5%大小光斑在坩埚中心，一直加电流到光斑扩散至坩埚边 (2018-01-09 11:12) 9nu3+.&P Qf@I)4' 你这个是不是手动预融啊

ouyuu

2018-01-10 10:14

奔跑的小骏马:光斑直径也就是XS/YS这个参数与实际的哪个长度单位对应？是mm、dm还是m？ (2018-01-08 08:29) #c^^=Z

是按百分比，出厂前会把100调成覆盖整个坩埚的大小。
但因为光斑是方形的，所以实际使用上不要超过80,否则四个角就出坩埚了。
另外光斑0也不是缩成一个点，他也是有尺寸大小的。
所以实际上35%就有坩埚直径的一半大小。

ouyuu	2018-01-10 10:15
奔跑的小骏马:光驰的也是一样的，转动半径给定后按照系统测算的点位坐标，自己查找位置坐标转动。 (2018-01-08 08:30) 4[N^>qt = {T].]7Z 光驰的人都是新柯隆出来的，所以基本概念是一样的。 JchSMc.9 不过光驰的本地化做的好

fly6947	2018-01-16 07:35
手动和自动过程都一样的，自动的话你光斑中心位置估计隔段时间要重新设定一下。其他扫面范围的坐标响应改一下就好

yzhuang	2018-01-29 16:15
看来大家熔料都有差异啊，这个是不是可以研究一下，哈哈哈。

查看本帖完整版本: [-- 预融参数 --] [-- top --]