yzhuang:我一般是快速扫描转圈预熔,功率设置比蒸镀时功率稍大一点,预熔时充少量氧气。 (2017-12-31 13:16) EPM-df!=
ouyuu:以40mm大小的坩埚举例。 Cc' 37~6~P 先中心30s,再分12个点转圈走3遍,每个点10s,然后在中心10s G"U9E5O 电流300mA~600mA左右,扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。 (2018-01-06 14:59) >G*eNn
ouyuu:以40mm大小的坩埚举例。 }~jlj 先中心30s,再分12个点转圈走3遍,每个点10s,然后在中心10s ?m=N]!n 电流300mA~600mA左右,扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。 (2018-01-06 14:59) L9\1+rq
囊中蓄乾坤:新科隆1900的就是12个点,是自动的,只要设置坐标就行了 (2018-01-06 19:00) c|B('3h
fly6947:TI3O5是面蒸发材料 可以不用转圈, 9(7-{,c 40%左右大小的光斑 稍微移动 把颗粒料大致融化;200mA ,0Hr2*p 5%大小光斑在坩埚中心,一直加电流到光斑扩散至坩埚边 (2018-01-09 11:12) }W8;=$jr
奔跑的小骏马:光斑直径也就是XS/YS这个参数与实际的哪个长度单位对应?是mm、dm还是m? (2018-01-08 08:29) gPO}d
奔跑的小骏马:光驰的也是一样的,转动半径给定后按照系统测算的点位坐标,自己查找位置坐标转动。 (2018-01-08 08:30) /36:ms A
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