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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 哪位在用光控的设备 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

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囊中蓄乾坤 2017-12-27 23:14

哪位在用光控的设备

一直在做晶控设备，现在想了解一下光控是怎么控制膜厚的，设计导入怎么处理。请教各位，谢谢。
奔跑的小骏马 2017-12-28 09:53
光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 8Lo#{`  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机导法不一样，但是原理都是一样的。 M;(,0dk  
附件是光控的一些知识点。 f-b],YE  
囊中蓄乾坤 2017-12-28 18:59
谢谢！
奔跑的小骏马 2017-12-29 07:46
囊中蓄乾坤:谢谢！ (2017-12-28 18:59)  #YUaM<O  
W U(_N*a  
有帮助不？你们用的啥机器
囊中蓄乾坤 2017-12-29 18:14
奔跑的小骏马:有帮助不？你们用的啥机器 (2017-12-29 07:46)  V5|ANt  
a"8[,A3  
没有用过，想了解一下这方面的，国产机
asd1236197 2018-01-16 22:15
金币不够撒是
ouyuu 2018-01-18 10:34
膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 B.z$0=b  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 &W `xZyb3  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） 0p.bmQSH  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 c :R?da  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如果跑偏一点的话，后面就会差上很多。 Jh[0xb  
gcLz}84  
但是光控控制的就是光学膜厚，所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 ^0VL](bD>  
光控的问题是精度没有晶控好，所以在薄层上无法用到光控。 >r.]a`  
所以AR膜最好不要用光控。
囊中蓄乾坤 2018-03-17 14:00
ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 lFBdiIw  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 m 0HK1'  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） 5=>1>HYM  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 XN<SKW(H3  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  WhPP4 #  
Hq@+m!  
嗯 谢谢解答，想多学习点，以后做其他镀膜也好上手一些。目前是AR，晶控就行了。
蜜蜂侠 2018-03-21 00:06
谢谢，楼主分享
yifeng602 2018-03-26 07:18
谢谢，好东西，
lovsilence 2019-01-31 18:43
ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 \aSP7DzqQ  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 )g5?5f;  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） F)3+IuY  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 ~Xi@#s~  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  y6(PG:L  
qHt/,w='Q  
谢谢，解答了我的疑问。
morningtech 2019-02-02 18:43
光控不是那样不堪的.
johnyu 2019-02-11 17:44
我們家光控、石英控都有在用。 HoI6(t  
[ATJ! O  
設計導入是用macloed或特定機台的轉檔程式。 3%vXB=>T!  
)~2\4t4|g  
程式部分是不用擔心啦 S-t#d7'B  
!'f7;%7s  
主要是在選監控波長找回頭點
ouyuu 2019-02-12 08:52
不同的监控波长，光控截止点是不一样的。 y)kxR  
尽量选择合适的截止点，离PEAK越远，精度越高。
zzs007 2019-07-23 17:59
学习学习学习学习
sosjinyan 2019-08-19 15:41
johnyu:我們家光控、石英控都有在用。 J[lC$X[  
設計導入是用macloed或特定機台的轉檔程式。 @*%3+9`yq  
程式部分是不用擔心啦 $6Ma{rC|  
....... (2019-02-11 17:44)  N+&uR!:.C  
z'l$;9(y  
TFC软件    选择好监控波长   有转换功能吗？ e=;A3S  
johnyu 2019-08-19 18:20
sosjinyan:TFC软件    选择好监控波长   有转换功能吗？ TcZ.5Oe6h#  
 (2019-08-19 15:41)  k4Q>J,k  
Kx9u|fp5  
TFC確實有可以看監控波長的功能 |r~u7U\  
cWW?@ _  
但好像沒有相對應轉換的方式 @c^ Dl  
I>?oVY6M@u  
通常都是使用我先前所說的進行匯入動作 fkI 5~Y|  
>/ay'EyY;>  
光馳都是用MACLEOD轉檔 *RkUF!)(  
Pd7\Q]of  
SHOWA是有內建的
lzb0036 2019-08-20 15:51
haohaohaohaohaohao
光迹 2019-08-21 11:56
奔跑的小骏马:光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 )JzY%a SP  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机 .. (2017-12-28 09:53)  oPi>]#X  
[v~,|N>w  
回值比例是？
htc1989 2019-08-23 22:15
很好，不错加油
sosjinyan 2019-09-26 16:49
我这一直用的晶控， 想了解下光控。   麦克劳德怎么将设计转化成光驰机 光控参数，麻烦截个图，多谢。
wflney 2019-12-29 23:07
好东西
sosjinyan 2020-03-25 13:35
回值比例，是软件自己算的。 问下那个监控波长怎么来的？我这光驰机每一层都是不同的监控波长
奔跑的小骏马 2020-03-26 18:35
光迹:回值比例是？ (2019-08-21 11:56)  5e7YM@ng  
3%*igpj\)  
好久没上了，回值比就是光控曲线从开始走到结束后时的值与最近极值的一个比值，控制光控曲线走多久的
光迹 2020-03-27 08:41
奔跑的小骏马:好久没上了，回值比就是光控曲线从开始走到结束后时的值与最近极值的一个比值，控制光控曲线走多久的 (2020-03-26 18:35)  |&@q$d  
hp)>Nzdx  
明白，方便的话留一下微信，我加你微信，或者是你加我微信也可以，1052488564，
sosjinyan 2020-03-28 07:35
我目前是只用过单晶控。   光驰机的光控  可以直接用麦克劳德软件转化，求助这个流程，多谢。
lamfong 2020-04-01 14:06
谢谢，好东西
morningtech 2020-04-01 16:07
这种散布不太好吧。离职不假，其它事情就不好说了。 #m|el@)  
morningtech 2020-04-01 21:04
技术论坛讨论技术为主，聊天叙事为辅。 ai;!Q%B#Q  
针对产品、技术问题可以讨论，尽量做到客观、有理有据。不宜对人或公司指名道姓，评价行为。 eSoX|2g  
平塘路呆过小半年。 L~ax`i1:"  
ouyuu 2020-04-01 21:50
morningtech:技术论坛讨论技术为主，聊天叙事为辅。 w+rw<,u%  
针对产品、技术问题可以讨论，尽量做到客观、有理有据。不宜对人或公司指名道姓，评价行为。 ~b8.]Z^  
平塘路呆过小半年。 yYOV:3!"  
 (2020-04-01 21:04)  L\Oxyi<{  
3>(~5  
了解，多的也不说了。 f~d =1  
最近我也是太闲了。
ouyuu 2020-04-01 22:23
说回控制波长的选择，光控的特点是PEAK处识别度比较低，镀很厚光量才会变化一点点。  UDpI @  
所以在设计的时候，通过选择合适的控制波长，让镀膜截止点在山腰上，这样镀膜精度才会高。 @W+8z#xr'  
而且尽可能的要过1个PEAK点（按理说PEAK点也可以算出来，但是算出来的精度不如测出来的） JF &$'  
Y\!:/h]E&  
光驰的文件格式我需要看一下，是不是和新柯隆设置一样。 nb5%a   
有时间我作个说明文档出来。 O'S xTwO  
sosjinyan 2020-05-03 19:23
试了试   不能发图片。 举个例子吧  一个简单的3层AR膜    AL2O3  H4   MGF2控制波长 分别是 K~L"A]+  
    545nm   691nm     600nm。   PEAK    1    ,2,    1.  。  波长的选择是要考虑停止点不在极值点附近。 （拐点 要＞10%？＜5%属于极值点附近？） 。 是不是   不同人设计的膜，控制波长应该都不一样。 只要拐点不在极值点附近就OK。 如果是我弄，应该不会选择691nm，直接690nm 好记一点。 gKU*@`6G  
sosjinyan 2020-05-03 19:24
[attachment=100271]
sosjinyan 2020-05-03 20:09
能发图片了， 这个光控转换好弄，输入控制波长   物理厚度  就能算出 peak    拐点，重点还是控制波长的选取。 YVY(uq)d  
  
morningtech 2020-05-04 17:45
这个示例图不是前面所说的增透吧 _}Gs9sHr0K  
1. 光控片基底材料折射率多少？ :+DAzjwO<  
2. 膜厚设计中心波长λ是多少？材料光控比例系数没有写出来，与1的差别比较大。 7Ph+Vs+h  
3. 第1层1个，第2、3层共用1个光控片？ zJ0'KHF}o  
4. 光量设定值有什么依据吗？选择不当对控制会有什么影响？ mR{%f?B  
5. 厚度上不连续，中间还有层省略了？ HSl$ U0  
sosjinyan 2020-05-06 10:15
这个图片，是之前论坛上看到了。 这个就是新科隆计算光控 peak 和拐点的程序。目前是可以大概使用光控机了。 起始光通量就固定20%    80%  两种就行。
sosjinyan 2020-05-06 10:16
morningtech:这个示例图不是前面所说的增透吧 XWy iS\  
1. 光控片基底材料折射率多少？ 7erao-  
2. 膜厚设计中心波长λ是多少？材料光控比例系数没有写出来，与1的差别比较大。 GrQAho  
3. 第1层1个，第2、3层共用1个光控片？ Y.*lO  
4. 光量设定值有什么依据吗？选择不当对控制会有什么影响？ qaGIU`}:$A  
....... (2020-05-04 17:45)  yb**|[By  
iii$)4V  
请教下，一个光控片，控制2层膜，这个怎么设置？
morningtech 2020-05-06 11:41
sosjinyan:请教下，一个光控片，控制2层膜，这个怎么设置？ (2020-05-06 10:16) h{xER IV1u  
xA5$!Oq7  
没用过新科隆机台，不知道怎么用。这台机就1个光控片？ 一般有多个光控片吧。 "=n8PNV/ c  
我以前的，每个比较片要新建出来，然后指定层参数就好了。 yl 8v&e{  
sosjinyan 2020-05-19 11:01
morningtech:没用过新科隆机台，不知道怎么用。这台机就1个光控片？ 一般有多个光控片吧。 U}0/V c26  
我以前的，每个比较片要新建出来，然后指定层参数就好了。 L>b,}w  
 (2020-05-06 11:41)  *]6dV '  
\IfgL$+  
确定是一个 光控片？  一般是8-60个吧。 那这机器只镀 1-3层的膜？  
morningtech 2020-05-19 14:26
sosjinyan:确定是一个 光控片？  一般是8-60个吧。 那这机器只镀 1-3层的膜？   (2020-05-19 11:01)  HjS^ nYl  
QJM!Wx+  
没确定只有一个光控片，是在问发图的人呢。这张图里信息很多，但也隐藏了一些信息，没用过。不了解。第2层是从极值开始，可能是新光控片，也可能是换了波长。图中没明确，不能确定，所以发问。 o~&!M_ED  
ha! "BR  
另外，用过6个光控片的，也用过1个光控片的。
小学僧 2020-12-22 17:37
johnyu:TFC確實有可以看監控波長的功能 0&IXzEOr  
但好像沒有相對應轉換的方式 0/@ X!|X  
....... (2019-08-19 18:20)  zZ"U9!T  
7Ljj#!`lUp  
showa机台的怎么用得，有知道吗
cust0701332 2020-12-22 21:15
ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 ocl47)  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 1 73<x){  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） _m7U-;G  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 of'ZNQ/  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  `!omzE*bk5  
RHx+HBZ  
膜拜大佬！
ouyuu 2020-12-23 08:56
sosjinyan:请教下，一个光控片，控制2层膜，这个怎么设置？ (2020-05-06 10:16)  dNUR)X#e  
*|LbbRu  
新柯隆有个薄膜理论计算的软件，你设定是不是新增一个光控点， DHm[8 Qp  
还是沿用之前的那个光控点，都是直接算出来的。 -}Cc"qm  
用了那个软件后，其他软件就不会用了。 1m>^{u  
但是理论上TFC，麦克劳德都是能算的。
华丽的转身 2021-09-14 09:14
奔跑的小骏马:光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 {UB%(E[Mr  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机 .. (2017-12-28 09:53)  paW'R+Rck  
9v~1We;{$  
感谢分享，受教了。
光学小菜鸡 2021-10-14 23:01
ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 u[)_^kIE(n  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 M3ZOk<O<R  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） >wA+[81[  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 ^Sw2xT$p{j  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  4 bn t=5]  
f6Ml[!aU  
学习到了！
sosjinyan 2021-12-04 17:22
新科隆  自带的软件可以把光学厚度，转化成 特定监控波长下的  PEAK数 和拐点值。 感觉监控波长的选择，需要一些经验。     )`^ /(YG  
华丽的转身 2021-12-10 16:15
受教了
shenhan0701 2023-03-29 12:26
tfc，macleod都可以算
sunshuang 2023-04-09 23:04
奔跑的小骏马:光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 hCAZ{+`z  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机 .. (2017-12-28 09:53)  J'e]x[Y  
*}w+ 68eO  
谢谢，好文章
谭健 2023-04-10 08:10
谢谢，楼主分享
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