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学习使我快乐 2017-12-24 18:32

关于镀膜机蒸镀的问题

今天弄新镀膜机(8kw),第一次蒸镀,工艺参数是按照老镀膜机(6KW)设定的,工艺菜单里功率设低百分之5 i`Fg kABw  
在蒸镀预溶的时候,屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围,并且提示是最小功率,我看坩埚里的药都飞溅了,粒子数最高的时候是400多,沉积的时候是正常的。 a9 7A{7I&  
这种情况怎样解决,有懂的前辈指导下吗? mwVH>3{j  
我也是个刚毕业的小白
学习使我快乐 2017-12-24 18:33
用的药是MGF2和H4
ouyuu 2017-12-25 00:36
速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。
贾松山 2017-12-25 08:44
1.是电子枪还是阻蒸? cJj4qX F  
2.预熔怎么会有最大速率? c7X5sMM,  
3.最小功率是对应什么材料的?功率多少? %$ |=_K)Ks  
学习使我快乐 2017-12-25 19:58
1电子枪 G/>upnA{w  
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的,预溶的时候不是有曲线吗,那个速率 KZUB{Y^)  
3最小功率是溶MGF2,设的15
学习使我快乐 2017-12-25 19:59
贾松山:1.是电子枪还是阻蒸? Bc3(xI'>J  
2.预熔怎么会有最大速率? 78&(>8@m  
3.最小功率是对应什么材料的?功率多少? }qU(G3  
 (2017-12-25 08:44)  ~/s(.oji  
hAq7v']m  
回复错地方了 看4楼
学习使我快乐 2017-12-25 19:59
ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  k~ Z9og  
W  &wqN  
下次 我试一试
gaofei5588 2017-12-26 14:58
让预熔爬升的时间长点
学习使我快乐 2017-12-26 19:46
gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  #s"|8#  
NR98I7  
这个时间在哪里设置呀
奔跑的小骏马 2017-12-27 09:02
学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  <4DSk9/  
\a\J0&Z  
你用的啥机器
囊中蓄乾坤 2017-12-27 11:14
预熔功率2次相差不要太大,时间可以加长。2个15秒。最小功率是不是起始太猛了。
gaofei5588 2017-12-27 11:53
开始熔药时间上升可能太快
学习使我快乐 2017-12-28 20:24
奔跑的小骏马:你用的啥机器 (2017-12-27 09:02)  k1EAmA l  
G:n,u$2a<  
我也不知道啊,就知道机器是在成都买的。60多W
奔跑的小骏马 2017-12-29 07:46
学习使我快乐:我也不知道啊,就知道机器是在成都买的。60多W (2017-12-28 20:24)  #0i] g)  
$m.e}`7SF!  
妈呀,啥牌子都不知道。机器上不是有标牌么。不行你上图。
yzhuang 2017-12-31 13:14
可能你设置的功率太大了
谭健 2018-01-01 21:56
了解中呢 我们公司也是做镀膜的 %E!^SF?Y  
学习使我快乐 2018-01-03 20:52
yzhuang:可能你设置的功率太大了 (2017-12-31 13:14)  }CR@XD}[  
`iX~cUQ  
我调小过 还是那样
ouyuu 2018-01-04 23:41
蒸发速率高,是因为镀膜药的温度高。 sqAZjfy@  
而药的温度高低是取决于电流密度而不是电流。 T.1*32cX  
所以溶药的时候,光斑大一点,电流密度就会低,而且加热比较均匀。 ,ux?wa+  
光斑要是小了,加热不均才会飞溅。 )G7")I J/X  
和电子枪电流基本上没啥关系。
罗毅峰 2018-01-19 17:48
我觉得预熔的时候最好是用手动预熔,好掌握些,机]器预熔的话就要把晶控里的数据调好
yzhuang 2018-01-29 16:19
预熔是不会有速率的,除非挡板没关,预熔的时候MgF2特别需要注意功率大小,太大了肯定一下就飞了,因为MgF2的熔点低,我6KW的电子枪用10%以内的功率就够了,当然,光斑的大小与是否扫描对需要的功率大小也有很大的影响。 ;QT.|.t6  
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