首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 关于镀膜机蒸镀的问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

学习使我快乐

2017-12-24 18:32

关于镀膜机蒸镀的问题

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？
我也是个刚毕业的小白

学习使我快乐	2017-12-24 18:33
用的药是MGF2和H4

ouyuu	2017-12-25 00:36
速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。

贾松山	2017-12-25 08:44
1.是电子枪还是阻蒸？ ^U);MH8 2.预熔怎么会有最大速率？ =3nA5'UZ 3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ \|9Y~k,rF

学习使我快乐	2017-12-25 19:58
1电子枪 &;RBG$t 2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的，预溶的时候不是有曲线吗，那个速率 ..x2 3最小功率是溶MGF2，设的15

学习使我快乐	2017-12-25 19:59
贾松山:1.是电子枪还是阻蒸？ YDZB$?&a 2.预熔怎么会有最大速率？ HG)$W 3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ ,Y16m{<eC (2017-12-25 08:44) 3HNm`b8G4m 6B Hdc 回复错地方了看4楼

学习使我快乐	2017-12-25 19:59
ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36) TkIiO> W}\|k!_/ 下次我试一试

gaofei5588	2017-12-26 14:58
让预熔爬升的时间长点

学习使我快乐	2017-12-26 19:46
gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58) mR#"ng &KV$x3 这个时间在哪里设置呀

奔跑的小骏马	2017-12-27 09:02
学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46) N0YJ'.=8, )X6I#q8 你用的啥机器

囊中蓄乾坤	2017-12-27 11:14
预熔功率2次相差不要太大，时间可以加长。2个15秒。最小功率是不是起始太猛了。

gaofei5588	2017-12-27 11:53
开始熔药时间上升可能太快

学习使我快乐	2017-12-28 20:24
奔跑的小骏马:你用的啥机器 (2017-12-27 09:02) ~tB9kLFG <7j"CcJzZ 我也不知道啊，就知道机器是在成都买的。60多W

奔跑的小骏马	2017-12-29 07:46
学习使我快乐:我也不知道啊，就知道机器是在成都买的。60多W (2017-12-28 20:24) >V@,K z1 ~tqNxlA 妈呀，啥牌子都不知道。机器上不是有标牌么。不行你上图。

yzhuang	2017-12-31 13:14
可能你设置的功率太大了

谭健	2018-01-01 21:56
了解中呢我们公司也是做镀膜的 bpfSe

学习使我快乐	2018-01-03 20:52
yzhuang:可能你设置的功率太大了 (2017-12-31 13:14) Mer\W6e"e JLV?n,nF 我调小过还是那样

ouyuu	2018-01-04 23:41
蒸发速率高，是因为镀膜药的温度高。 ij1g2^],4 而药的温度高低是取决于电流密度而不是电流。 ,5Tw5<S 所以溶药的时候，光斑大一点，电流密度就会低，而且加热比较均匀。 pXHeUBY. 光斑要是小了，加热不均才会飞溅。 }F (lffb 和电子枪电流基本上没啥关系。

罗毅峰	2018-01-19 17:48
我觉得预熔的时候最好是用手动预熔,好掌握些,机]器预熔的话就要把晶控里的数据调好

yzhuang	2018-01-29 16:19
预熔是不会有速率的，除非挡板没关，预熔的时候MgF2特别需要注意功率大小，太大了肯定一下就飞了，因为MgF2的熔点低，我6KW的电子枪用10%以内的功率就够了，当然，光斑的大小与是否扫描对需要的功率大小也有很大的影响。 k3t2{=&'&x

查看本帖完整版本: [-- 关于镀膜机蒸镀的问题 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计