| 小人物 |
2006-11-08 22:00 |
（1）关闭泵加热系统，然后分离蒸镀室（主要清洁灰尘，于蒸镀残渣） b2Oj 1dP 1
（2）关闭电源或程序打入维护状态 )Rc
（3）清洁卷绕系统（几个滚轴，方阻探头，光密度测量器） #Mm1yXNu
（4）清洁中罩室（面板四周） >j6"\1E+Dz
（5）泵系统冷却后打开清洁（注意千万不能掉入杂物，检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理） F!qt=)V@w
（6）检查重冷与电气柜设备 ^SvGSx i
这只是大概，主要还是平时的清洁，蒸镀后一定要清洁干净（注意小规格与超薄膜时更要清洁仔细）
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