| 小人物 |
2006-11-08 22:00 |
（1）关闭泵加热系统，然后分离蒸镀室（主要清洁灰尘，于蒸镀残渣） n1$p
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（2）关闭电源或程序打入维护状态 ?jy^WF`
（3）清洁卷绕系统（几个滚轴，方阻探头，光密度测量器） =n%?oLg^
（4）清洁中罩室（面板四周） YAsvw\iseK
（5）泵系统冷却后打开清洁（注意千万不能掉入杂物，检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理） {d=y9Jb^
（6）检查重冷与电气柜设备 vw3%u+Z&
这只是大概，主要还是平时的清洁，蒸镀后一定要清洁干净（注意小规格与超薄膜时更要清洁仔细）
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