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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: dnX^ ? 定义单向弯曲器件的材料 O{G $]FtF 定义系统设置 "w{,ndZ 创建弧形波导 L\kT9wWK| 插入输入平面 h6Hop mWVx 选择输出数据文件 *;(GL 运行仿真 ![_GA)7 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 n<sA?T ^m^,:]I0P 1. 定义单向弯曲器件的材料 4b$m\hoN 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 \cq.M/p 步骤 操作 %u$dN9cw 1) 从文件菜单中,选择新建。 O[')[uo8s 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 }pPt- k i>rsq[l 图1.初始属性对话框 ?x =Sm|Ej 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 d e~3: 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 ,%]s:vk[u 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 =}4lx^`oeT TsZX'Yn 图2.轮廓文件设计器
DWJkN4}o 3) 创建以下介电材料: [$GQ]Y 名称:包层(Cladding) \"@ `Rf
折射率(Re :):1.442 e%DF9}M @sb00ad2q 4) 要保存资料,请单击“存储”。 ;%aWA z0&I>PG^ 5) 创建第二种介电材料: D D
Crvl T]J#>LBd 名称:波导层(Guide) &@xeWB 折射率(Re :):1.45 Hz<)a(r!J nnO@$T 6) 要保存资料,请单击“存储”。 Tn3f5ka' I*)eP|| 7) 创建以下通道: Z})n%l8J]p 轮廓名称:通道1 Kx[z7]1@ 2D轮廓定义材料:波导(Guide) lf9_!`DGV 8) 要保存通道,请单击“存储”。 GB_m&t
9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 } "ts 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI \OXKK<^$uK ed)!Snz 2. 定义系统设置 u~d&<_Z 要定义系统设置,请执行以下步骤。 k-vxKrjZ/ 步骤 操作 >'zp 1 点击默认波导标签 :`P;(h 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 ?|9$o/Q} 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 D+
**o 4 键入以下值: {VE$i2nC8 长度:800 }UWRH.;v 宽度:50 &9'JHF!l 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 5{|\h} 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 6.'+y1yS) 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 RsDI7v 出现布局窗口(参见图3)。 -0doL^A SB[,}h<u1 图3.布局窗口 WH$
Ls(' 3. 创建弧形波导 B1Iq:5nmoS 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 t`mLZ
<X 步骤 操作 $bKa"T* 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 |"Oazll 光标变成十字线。 ZvO:!u0+" 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 !f\6=Z?>3 )FqE8oN- 图4.绘制一个弧形波导 2'r8#,) 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 , 0rC_)&B 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 l9.wMs*`X 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 '17u
Wq 出现弧形波导属性对话框(参见图5) b\\?aR
| {:enoV" 图5.弧形波导属性对话框 K~WwV8c9; 5) 点击起始标签 QrPWS-3~! 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): }q
?iJ?P 水平:0 9aC>gye! 垂直:-10 t>v']a +k /aJl0GL4! 图6.初始偏移值 BWX&5"" 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 4p~:(U[q 激活表达式框(参见图7)。 %GS)9{T& MU&5&)m 图7.波导半径 I>-jKSkwc 8) 键入以下值: Ec6{?\ 表达式:4000 1|cmmUM-'v 9) 单击终止选项卡。 Gf'V68,l$ 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): ^j=_=Km] Horizontal:800 {hRAR8 垂直:-8 hoeTJ/;dm D\V}Eo';6 图8终止偏移值 1
)j%]zd2 11) 输入以下值: j`'=K_+nU 宽度:4 W# y)ukRv 12) 点击“OK”。 oaBfq8,; 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 +TAm9eDNV ]@?3,N 图9.修改的弧形波导 ($W9
? 4. 插入输入平面 ak;Z; 要插入输入平面,请执行以下步骤。 p-;]O~^ 步骤 操作 l1wxs@]( 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 O.K8$ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 cdIy[
1 输入平面出现(参见图10)。 !P92e1 u%[*;@;9+ 图10.输入平面 $~~=SOd0 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 \K?./* 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 {Ue6DK% G(0bulq ...... (%fGS.TR 4
|5ekwk 未完待续 P7y[9|^ 来源:讯技光电 @xkM|N?
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