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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: 2t?Vl%< 定义单向弯曲器件的材料 [<sN " 定义系统设置 y(O~=S+< 创建弧形波导 `~D{]'j 插入输入平面 E)|Bl> 选择输出数据文件 e-nwR 运行仿真 nUK;M[ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 %~M#3Ywa 'wWuR@e#& 1. 定义单向弯曲器件的材料 [
~kS) 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 Y?-Ef
sK 步骤 操作 PAH#yM2Ic 1) 从文件菜单中,选择新建。 O)"Z% B 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 LP/SblE Sbeq%Iwm. 图1.初始属性对话框 z/nW;ow 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 0U !&|i\ 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 >Bu_NoM 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 .*Bd'\:F/q _w2KUvG-8 图2.轮廓文件设计器 Oc-ia)v1G 3) 创建以下介电材料: oi8M6l 名称:包层(Cladding) Ua4P@#cU 折射率(Re :):1.442 mex@~VK `6BQ6)7 4) 要保存资料,请单击“存储”。 |XMWi/p 7I*rtc&Kb 5) 创建第二种介电材料: 5H, (\Xd v^;vH$B 名称:波导层(Guide) vQj{yJ\l1 折射率(Re :):1.45 m*\LO%s]E ":qS9vW 6) 要保存资料,请单击“存储”。 h,6> ^A F"QJ)F 7) 创建以下通道: VV sE]7P ] 轮廓名称:通道1 hLVgP&/E 2D轮廓定义材料:波导(Guide) =1xVw5^F 8) 要保存通道,请单击“存储”。 (j(9'DjP 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 @Fzw_qr
M 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI ap,zC)[ @!|h!p; 2. 定义系统设置 5kA D vi. 要定义系统设置,请执行以下步骤。 G_5w5dbG 步骤 操作 d[*NDMO 1 点击默认波导标签 L">m2/ HG 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 zy.v[Y1! 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ?j)#\s2 4 键入以下值: K)}Vr8,V 长度:800 0DN&HMI# 宽度:50 R]RLy#j 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 bJkFCI/ 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 :XTxrYt28 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 \Ym!5,^o 出现布局窗口(参见图3)。 vl?fCO 2/Y e<.# 图3.布局窗口 ywB0
D`s' 3. 创建弧形波导 |tz{Es<`B 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 SpOSUpl% 步骤 操作 C4t~k 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 BqdGU-Q 光标变成十字线。 QUg<~q)Oq 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 L`fT;2 nA%8
bZ+ 图4.绘制一个弧形波导 7M_GGjP 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 t}MT<Jj 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 uKB V`I 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 NE3/>5 出现弧形波导属性对话框(参见图5) Yp8XZ3 8%xiHPVg 图5.弧形波导属性对话框 u'gsIuRJ 5) 点击起始标签 *OHjw;xm+ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): f9hH{(A 水平:0 |/Y!R>El 垂直:-10 iR8;^C.aT Q8h=2YL 图6.初始偏移值 ie7TO{W 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 ej&o,gX 激活表达式框(参见图7)。 H>"P]Y)oX q!q=axfMD 图7.波导半径 jO`L:D/C 8) 键入以下值: E~8J<gE 表达式:4000 KqNsCT+j 9) 单击终止选项卡。 gEq6[G 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): @[n%q.|VB Horizontal:800 D2io3Lo$ov 垂直:-8 v[a4d&P ): r'IR 图8终止偏移值 +!G)N~o 11) 输入以下值: v{8r46Y~Z) 宽度:4 s8k4e6ak 12) 点击“OK”。 k_Lv\'Ok 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 eO{2rV45O .tK]-f2 图9.修改的弧形波导 :z$+leNH\ 4. 插入输入平面 nQn=zbZ3 要插入输入平面,请执行以下步骤。 SV^[)p) 步骤 操作 9Dyy&$s 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 tcI Z
2H% 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 5o0H7k] 输入平面出现(参见图10)。 9FF VY0-18 o 图10.输入平面 W=,]#Z+M; 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 a!PN`N28 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 j'UWgwB !{ORFd ...... 9v7}[`^ cWI7];/d; 未完待续 Cn>t"#zs!~ 来源:讯技光电 /8P7L'Rb
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