摘要:用部分补偿法检测非球而时部分补偿透镜的优化设计是关键技术之一,针对这一难点提出了一种以剩余波前斜率作为优化目标的基于Zemax的部分补偿透镜设计方法分析了剩余波前斜率与干涉条纹密度以及弥散圆之间的关系得到了弥散圆可以定量表征剩余波前斜率的结论并将弥散圆半径作为优化函数针对3种不同参数的非球面进行了部分补偿透镜的优化设计设计结果表明该方法可在保证干涉条纹可探测的前提下简单、快速、全面直观地实现部分补偿透镜的优化设计减小剩余波前斜率降低干涉条纹密度从而扩大干涉仪可测非球面面形误差的测量范围提高可测的空间频率。