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    [求助]离子源的能量主要来自那里？ [复制链接]

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    离线龙在西工
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-04-24
    最近，离子源有些不稳定，总是在晶体表面打上无数的小点点，怀疑离子源能量太大。 sT<h+[2d  
    请教如何调离子源参数？
     
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    离线龙在西工
    技术员
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-05-04
    自己顶自己
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    离线warstorm
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-05-09
    什么离子源，镀什么基底 Fy_~~nI0  
    设备是谁家的啊
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    离线jiangguang
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2012-07-14
    离子源把电压调小。。能量就小。。还有离子源是否洁净是否打火。。还有电子+中和是否好。。
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    离线王少伟
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-03-07
    灯丝是否清洁干净并定期更换，离子源内部阳极栅是否定期清洁
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