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    [讨论]AZO的density and Z ratio [复制链接]

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    离线greenhaw
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-11-23
    蒸发AZO镀膜过程中,要输入AZO的density and Z ratio但是查遍表格也没有发现,用ZnO的数据作了一遍发现不太准, h72/03!  
    谁有AZO的数据分享以下?以及AZO evaporation过程中的注意事项 5)lcgvp  
    BTW,AZO好像是直接升华的,我用ZnO的参数晶振片上显示150nm,但是a-step测试只有几纳米,不知道为什么?求解!! e&d$kUJrq  
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-11-27
    个人认为,把密度参数设准了,其它的基本上以忽略