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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-05-18
    哪位大侠知道ITO的电阻于充氧的关系? 2[|52+zhc  
    我们要用ITO镀面电阻在50欧姆的透明导电膜,充氧控制在3.0E-2Pa,基片温度370℃,但每次镀出来的玻璃都发黑,请问这是怎么回事?
     
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    离线cl610
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-05-19
    那应该控制在多少合适呢?
    离线flyinlove79
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-05-24
    发黑是因为材料吸收造成的,原因很多了,比如充氧、蒸发速率、基底温度等,这些参数在不同的机子上是不同的,需要自己做试验调整。
    离线wangchao04
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    只看该作者 3楼 发表于: 2006-09-12
    同意楼上观点   温度应该可以了   可能还是速率的问题
    离线wangchao04
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    只看该作者 4楼 发表于: 2006-09-12
    同意楼上观点   温度应该可以了   可能还是速率的问题
    离线evact
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    只看该作者 5楼 发表于: 2010-01-28
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    可以请问一下,3.0e-2pa, [#=IKsO'R6  
    其中的3.0e-2是什么来的呢?