非接触式测量根据测量原理的不同,有光学测量、超声波测量、电磁波测量、红外测量、摄影测量等方式。 kc$W"J@
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一、光学测量法可分为激光三角测量法、机器视觉法、莫尔轮廓法、相位测量轮廓法、扫描隧道显微镜( STM)法、光纤法、激光干涉法、激光扫描法等 。 |*ZM{$
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1.光学三角测量法 9k62_]w@6
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分为直射式光学三角法测量原理和斜射式光学三角法测量原理,按照测量方法可分为点光源入射、线光源入射和栅光源入射三种形式; &
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2.莫尔轮廓法:是通过一块基准光栅来检测轮廓面的影栅或像栅,并依据莫尔图案分布规律推算出轮廓面形状的全场测量方法。投射在三维轮廓面上的变形光栅,其光场分布函数可表示成空间相位调制信号,待测物体偏离参考平面时因影栅条纹位置变化而引起的空间相位改变量,待测物体的高度信息就包含在这一相位调制项中; @Kt!uKrI
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3.相位测量轮廓法 ,'YKL",
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Satoru Toyooka和Tuuji Iwaasa在1986年提出了三维轮廓表面的空间相位检测法。是用TV相机来采集物体上变形光栅图像的灰度信息,然后由计算机按不同与FTP的规则进行相位解调和高度计算,从而获得需要点的坐标; =7kn1G.(
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4.扫描隧道显微镜法 *b{Hj'H aH
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利用量子理论中的隧道效应,该扫描运动系统的作用是产生探针相对于样品的三维扫描运动,其运动部件的直线性、正交性运动的重复性和稳定性都达到了前所未有的高要求; vP'!&}
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