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    [求助]又出新难题了，请维修达人 [复制链接]

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    离线wsxiswu
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-08-07
    现在我们使用的一台镀膜机上的MDC-360晶控仪只能打手动镀膜打不了自动 |X}H&wBWo  
    打自动主要现象为：干锅旋转不停 O $dcy!  
    个人认为可能是人为参数设定不正确，但对这个东东了解不深，不好随意修改参数。 *[ ' n8Z  
    望达人指点，谢谢 >Xz=E0;^Ua  
                
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-08-11
    刚锅下面的线松了吧
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-08-11
    坩埚下的接线均正常，手动镀膜时坩埚动作正常，只是在自动模式下才出现上述故障！
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    离线yzhuang
    论坛版主
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    只看该作者 3楼 发表于: 2008-08-13
    我没用过,给一个建议,查一下:Source Parameters ( 蒸发源参数)中的Feedback Type,其中参数为Individual, BCD, single home, in position, or on feedback(独立，二进制数码，到位，或无回馈),试着改变一下设置,还有就是Position Control(位置控制)中的Manual direct, BCD, or individual(手动，直接，二进制数码，或单独),看看有什么不对
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2008-08-15
    好的！
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    离线yufe16
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    只看该作者 5楼 发表于: 2008-08-24
    碰到过这种情况，总电源关一下再打开就可以了。
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    离线gszljw
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    只看该作者 6楼 发表于: 2008-09-07
    没用过！ Czl4^STiC  
    提供建议： x4_xl .  
    此为定不到位，请找一下定不到位的原因
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