[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： G * =>  
低真空时间: I{i6e'.jP  
0000——3.0 E0        8分钟 Yy0U2N[i  
但此时不能开启高阀 !.{"Ttn;s  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 d)kOW!5\  
0000——8.0E-1        65分钟 &2r[4
 
高真空时间: bFVY&  
8.0E-1——4.8E-3      65分钟    LcTTfb+<  
4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） =g|5VXW5  
4.5E-3——2.5E-3      60分钟    5a|{ytP   
抽真空环境： ^t?vv;@}  
  温度：26℃-28℃ {7Hc00FM  
  湿度：45% S59^$  
  烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） CYYo+5x  
可是现在不知道为什么抽不动了。 xy]oj  
主要表现在 K"zRj L+  
0000——3.0 E0        8分钟 "gt1pf~y  
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 fo~>y  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 [WI'oy  
扩散泵油很好，很清亮。 9W&nAr
 
h-\Ov{~  
P1R[M|Fx  
T(Ji%S>  

及盼能解决的办法！

那你的机械泵是不是有问题，检查下机械泵的能力。

不像是机械泵的问题，因为低抽看起还正常。油加热温度不够，检查低阀关完了没有，有可能是阀门内漏气！

油温一直维持在247℃ -246℃ 之间，两个泵都是。高阀我也检查了，没有漏气的现象。目前好郁闷，不知道从那个方面下手了！！！！（TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊！)

冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃

我不知道说的对不对，你的机器用了多和时间了？机械泵换过油没有？ pLCS\AUTsv  
  南光的机械泵有一个最大的毛病，就是在里面有一个蓄水槽，时间长了里面全都是水，影响抽速。 nRu
%0Op  
你检查一下，

机械泵已洗，蓄水槽是有很多水！！！油也换了！！可是………………可是………………还是没有多大的改观

低真空时间: {.p;V  
0000——3.0 E0        8分钟  (n~fe-?}8  
但此时不能开启高阀 doe3V-if  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽  !Q_Wbu\U  
这个现象我觉得很不正常，不知道怎么处理！！ AXte
&l=M  
这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度，感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4（维持泵3小时）

看看你的扩散泵油有没有氧化