[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我使用的是成真ZDF-III-LED真空计已经确认正常 #Km:}=  
我的意思不是3.0E-0开不了高阀，而是在这个真空度开高阀真空室的真空就抽不动。 Cye$H9 2  
只有在9.0E-1左右开高阀才能继续抽真空。

检查一下前级阀，看是不是前级阀内漏气，还有就是DP与前级阀前有一个环，看有没有坏啊，我也遇到过，但是就是这个问题

DP??DP与前级阀前有一个环??可以明确一点吗?谢谢了

我听说过一个做真空系统的人讲过： Hqh6:
RuL  
真空能不能抽到高真空，如果不能，表示漏气，如果能抽到高真空，而时间太长，则表示不漏，而是真空泵系统问题。 kX:tc  
具体检测方法，可以分别对各种泵的极限真空进行测试就大概知道。通常机械泵的抽速是从大气到1000PA，前级泵是从1000PA到1PA扩散泵是从1PA到10-2PA,就可开始烘烤镀膜后续工序。 mW%?>Z1=>d  
你要摸摸扩散泵的温度是不是过高。虽然说冷却水温指示正常，如果冷却水管与扩散泵脱开的话，扩散泵一样冷却不好的。  htY=w}>  
如果不是扩散泵的问题，从你说的现象来看。感觉机械泵与前级泵出现问题的可能性比较大。机械泵要抽一个小时才到你说的那个数值，也太慢了些吧。

我以前做AR膜时，是用光驰设备。从抽到镀再到下次抽，间隔时间总共也才一个小时哦。 @xsCXCRWVV  
南光机真的太慢了。

感觉是你的扩散泵的水冷系统出问题了

回复24楼 %[<Y9g,:Q  
y%]8'q$  
iNCX:Y  
现在的机器不加烘烤 8|twV35  
20分钟就到3*10-2了 ~fz[x9\  
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我们的设备每年开4000锅 &Y@#g9G  
U3vEdw<lV  
设备要注意保养 puJ#w1!x`  
P,gdnV ^  
而且气候、镀制材料也有差异

可能是烘烤接线柱了漏气

请将你的RP的型号及厂牌告诉我，另外真空度单们是？ yeD_j/  
或许我能帮你一下

你的机台是不是扩散泵油加多那，检查一下有的用量；或是你的加热丝有问题，功率不够或是达不到！