摘要:这个案例分析了由衍射扩散器元件实现的单色准分子
激光光束的均匀化,最终生成一个圆形高帽。
mWvl38 }+sT4'Ah> 1.建模任务 O<V4HUW R47\Y L+q/){Dd( 2.光源参数 :eCU/BC4 cMOyo<F#^=
&Udb9 Cid
;z Z+=@<i'' •
LED模型:Gaussian Type Planar Source(高斯型平面
光源)
.;N 1N^ • 光源平面直径:100μm×100μm
S.f5v8 • 空间相干长度:3μm×3μm
q*>&^V $M • 相应的发散角(HWHM):~0.89×0.89°
X93!bB •
波长:351nm
j{Q9{}<e .*)2SNH 3. 衍射扩散器透过率函数 PAM}*' 7yh/BZ1 c.e2 M/ 一个衍射匀光元件,可以使用一个具有如下技术参数的衍射扩散器透过率函数来模拟:
$A-J,_:T< • Phase-Only元件
MpR2]k#n< • 采样距离:5μm
J
G{3EWXR • 大小:640μm×640μm
_BP&n