摘要
"cwvx8un 7Hg;SK6t0 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
o&$Of zeshM8= 5SEGV|% ~^/BAc 设计任务
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w~~[0e+E mKJO?7tj 1级
参数优化
q*!Vyk =5O&4G`} CG
,H rRXF@ 结果-容差分析
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qN'%q+n gm$<U9L\v )TcD-Jr 结果-容差分析
[dy0aR$>d ~zoZ{YqP &8dj*!4H qFp]jbU VirtualLab Fusion一瞥
r*c x_** s(:N>K5* =)f.Yf|A* nTE\EZ+=2 VirtualLab Fusion中的工作流程
3F9 dr@I.7 WeIi{<u8R 构建光栅结构
nj#kzD[n> −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
7g4IAsoD −倾斜光栅高级设定[用例]
NftR2 •光栅衍射效率分析
K8uqLSP ' −光栅阶序分析器[用例]
0pBG^I`_ •使用参数优化进行光栅参数优化
bwK1XlfD.s •使用参数运行的容差分析
:n OCs C_ W%]8u gWl49'S>+ $ VeQvm* VirtualLab Fusion技术
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