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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-24
    摘要 NR*SEbUU*  
    "Wm~\)t(  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H07j&  
    %Z7!9+<  
    E;qwoTmul  
     w.8~A,5}Dh  
    建模任务 w#e'K-=  
    cC4T3]4l'  
    CytpL`&^]  
    概述 No7Q,p  
    9<#D0hh$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C gx?K]>y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zCHr  
    ?@1'WD t  
     E ( @;p%:  
    a3;.{6el)H  
    光线追迹仿真 D}T, z  
    6fkr!&Dy7  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ps7%:|K]  
    •单击go！ $<v_Vm?6d  
    •获得了3D光线追迹结果。 &f*dFUM]I  
    |=LkV"_v  
     K>[H@|k\k  
    W%1S:2+Kl  
    光线追迹仿真  zjA/Z(  
    q8Dwu3D  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V5B-S.i@  
    •单击go！ ^aXBt  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 RY{tX`  
    qN@a<row&~  
     U3}R^W~eb  
    qedGBl&  
    场追迹仿真 [R4x[36Zp  
    x1wxB 1)2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LzRiiP^q  
    •单击go！ ?^~"x.<nr  
    ~8*oGG~s  
    @@wx~|%  
     :2E1aVo4b  
    场追迹仿真（相机探测器） <+gl"lG  
    86#mmm)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ozC!q)j  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4MJzx9#  
    m]\zt  
     kA__*b}8UK  
    {ah=i8$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |L;psK  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (:QQ7xc{}  
    L]d@D0.Z  
    GYC&P]  
     5vf t}f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） hX m} d\  
     y.p6%E_`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LUck>l\l  
    S |>$0P4W(  
     `{F~'t['  
     
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