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摘要 dJ"44Wu+J
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 (o>N *?, }
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/io0"D 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） p{? duq=
V``|<`!gd 建模任务 St; 9&A
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 1I;q@g0 GzEw~JAs 单次FMM仿真结果 AA-$;s
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:G78. H c/7x). 参数扫描（1D） 2e6P?pX~2
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 NK-}[!f AyJl:aN^ 参数扫描（2D） |E13W (U\o0LI  cg ) (L;
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