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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-27
    摘要 :>fT=$i@  
     {h+8^   
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 nXRa_M(z8  
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    >4X2uNbZS  
    JI-i7P  
    建模任务 =o##z5j K  
    4]U=Y>\Sr  
    F<I*?${[  
    n>ui'}L  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) d^}p#7mB\  
    #h[>RtP:  
    系统建模块 $os]$5(  
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    特定位置的Talbot图案  1c0' i  
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    特定位置的Talbot图案 @JbxGi  
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    不同位置的Talbot图案 e3 v^j$  
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    不同位置的Talbot图案 t<8)h8eW  
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    沿 Z 轴的强度 G+<XYkz*  
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    -iR2UE@M  
    VirtualLab Fusion技术 F=Bdgg9s  
    w6V/Xp][U  
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