摘要
KlwBoC/{K O+Db#FW 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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$GG8 设计任务
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参数优化
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jM u5f }hc+ENh f_. 0 uM !,DA`Yt VirtualLab Fusion一瞥
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] VirtualLab Fusion中的工作流程
3HndE~_C& ,YrPwdaTB 构建光栅结构
GRgpy −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
7 z+Ngt' ! −倾斜光栅高级设定[用例]
gYw=Z_z •光栅衍射效率分析
1=jwJv.^/ −光栅阶序分析器[用例]
'^:q|h •使用参数优化进行光栅参数优化
XE:bYzH •使用参数运行的容差分析
55Ye7P-d h7}P5z0F S"Ag7i P[P]oT.N
VirtualLab Fusion技术
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