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摘要 C33RXt$X 4X>=UO``L 'W~6-c9y
n3s 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 zogl2e+ )hfI,9I~ 建模任务 sz4;hSTy l?x'R("{ |W|RX3D [*Vo`WgbD 由于组件倾斜引起的干涉条纹 u#$sO;8s !XF:.| ?T'a{~]R R^JtWjJR 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 OX{2@+f# h)X"<a++N qtS+01o 8fb<hq<
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