摘要
c$rkbbf~V J_C<Erx[O 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
U[*VNJSp WW{5[;LYiB \{t#V
~ 1. 建模任务
-$f~V\M mM!'~{r[- 2. 干涉条纹的变化
P,k~! F^L QM2Y?."#
]>E*s3h 3. VirtualLab Fusion概览
L{jJDd ;&q}G1 +D[|L1{xb 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
B]L5K~d 设置输入场
9 [v=` - Basic Source Models [教程视频]
=dx!R ,Bw 定义组件的位置和方向
'A;G[(SYy - Basic Source Models [教程视频]
"~(qp_AI 正确设置通道以进行非顺序跟踪
K*&M:u6E - Basic Source Models [使用案例]
'iA#lKG 使用
参数运行检查影响/变化
L6./b; - Usage of the Parameter Run Document [用例]
f.JZ[+ A-^[4&rb
rZ2X$FO@ )uC],CbW{ 5. VirtualLab Fusion 技术
V>ML-s9 Xf!@uS6<X