摘要
D!~-53f@ N(@'L43$V
*Ri?mEv
hF /)xG%J7H 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
jl=<Q.Mm7 qDO4&NO 设计任务
3Bz0B a :xfD>K
QH6Lb%]/ A}sb2P 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
AyKaazm]9 B3'qmi< 扫描参数空间以获取初始解
@M?N[LG =/"Of
W 0Q-&4 :Q sGwhB 初始解#1的参数优化
T"'"T]^
X I -i)D
SG8H~]CO) 50(/LV1 最终设计#1的性能分析
qu8i Jq b1jh2pG(V
=V1k'XJ Rs:<'A 初始解#2的参数优化
UnZ*"% =eSG7QfS
rB}UFS) !J[3U
最终设计#1的性能分析
BSG_),AH hZ.Sj~>7`
jcN84AaRFI LGPy>,! VirtualLab Fusion一瞥
m~#S76!w 'Ol}nmJ'n
XZA3TZ iqghcY) VirtualLab Fusion中的工作流程
e%j+,)Ry O1coay 构建
光栅结构
:N%cIxrqP ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
)ye[R^!} ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
Fg?Gx(g4 分析光栅
衍射效率
o)cd!,h ─ Grating Order Analyzer
+}>whyX1 使用参数运算寻找初始解
U
n2xZ[4 ─ Usage of the Parameter Run Document
n
w @cAv 使用参数优化确定最终解
)dG7$,g O$Wt\Y<q VirtualLab Fusion技术
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