摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
ZDx@^P y Qv LZg 任务
9!U@"~yB • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
uS+k^
# • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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npp[@*~ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
d2S~)/@S 连接建模技术：衍射光束分束器
R}:KE&tq g~S)aU\:, 
&v! WVa? 通过配置助手和IFTA进行相位设计
&|Pu-A"5~ !k&Q 5s: Ad$n4Z e 将传输函数转化为结构
AoaN22 xJZ@DR,# tM p =-" 衍射光束分束器表面
{@Y Ae uX Qt &<pKx! 衍射光束求解器 - TEA & FMM
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T SC &~s$P; 光栅级数 & 可编程光栅分析器
;8{cA_& N#C1-*[C *e#<n_%R 设计与评估结果：
QK `i%TXJ • 相位函数设计
o*g|m.SjL • 结构设计
B;K`q
• TEA 评估
;z~n.0' • FMM 评估
[&?8,Q( • 高度缩放检查（用于优化/容限）
sj?3M@l95W V D S23Bo 仅相位传输设计
*Vw\'%p* k0-G$|QgIp WQNE2Q 结构设计
efP &xk Gfp1mev SLfFqc+n0 使用TEA进行性能评估
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VN u{N ,Ib
8 使用FMM进行性能评估
4 1a. #o gb=/#G0R R9rj/C o 进一步的分析（优化后，容差分析）
2F#q
I1 %M|,b!eF 
wCf~O'XLw 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
9[c%J*r P + " Y {gNV[45 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
7!y5
SX8C jOpcV |2 D?yG+%&9 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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