上海微电子“投影物镜光学系统及光刻机”专利公布

最新评论

likaihit 2023-11-29 00:13

实物在哪里

redplum 2023-11-29 00:14

这个很有意义

tassy 2023-11-29 00:59

関注微电子投影物镜光学系统及光刻机

phisfor 2023-11-29 07:02

上海微电子“投影物镜光学系统及光刻机”专利公布

星空38 2023-11-29 07:50

上海微电子公开的专利名为“投影物镜光学系统及光刻机”

wangjin001x 2023-11-29 08:03

上海微电子“投影物镜光学系统及光刻机”专利公布

liulin666 2023-11-29 08:17

上海微电子“投影物镜光学系统及光刻机”专利公布 @ -pi  

雨后无文 2023-11-29 08:20

有意义

牛开心 2023-11-29 08:37

上海微电子“投影物镜光学系统及光刻机”专利公布

wmh1985 2023-11-29 08:39

本发明提供了一种投影物镜光学系统及光刻机，所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面到像面依次包括：第一透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组与第四透镜组。 其中，所述第三透镜组与所述第二透镜组关于所述光阑对称，所述第四透镜组与所述第一透镜组关于所述光阑对称，所述投影物镜光学系统是对称结构，且所述投影物镜光学系统中所有的透镜组均具有正光焦度，以此可以在提高成像质量的基础上，增大曝光系统的视场尺寸，提升产率。