[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 _#&oQFdYR  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Z}\,rex  
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建模任务 <;?1#ok  
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模拟&设置：单平台互操作性 !o?&{"#+  
建模技术的单平台互操作性 )R'%SLw  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 cb0rkmO  
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图片:1-231026212000Y8.png

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 平面波光源 EsX(<bx  
 微透镜阵列 5Ww,vSCV)  
 彩色滤光片(吸收介质) r nr-wUW@  
 通过基底传播 se2Y:v  
 探测 p_&B+ <z  
f+s)A(?3  
连接建模技术：微透镜 phf{b+'#X  
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U\qbr.<  
连接建模技术：彩色滤光片 L?j<KW  
R13k2jLSQ  

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^AJ 2Y_}v  
连接建模技术：可编程介质 CdmpKkq#  
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hFr+K1  
连接建模技术：自由空间传播 <X4f2z{T{@  
K39I j_3  

图片:1-231026212P4M8.png

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ILH[q>  
连接建模技术：堆栈 3gVU#T[[  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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SC4jKm2  

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 微透镜阵列 *!BQ1] G  
 彩色滤光片(吸收介质) =FIZh}JD  
 通过基底传播 +$(y2F7|u-  
 探测 kJOZ;X=9/  
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元件内场分析器：FMM >.od(Fh{l|  
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模拟结果 -UzWLVB^  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) MMET^SO  
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-]u>kjiIT  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) P{`fav  
C Q iHk  

图片:1-2310262131263Q.png

xy!E_CuC$  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) C\BKdx5;  
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3D仿真与结果比较 AT3H
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3D仿真与结果比较 @zi0:3`#0\  
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