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摘要 ^B1Ft5F`b by+xK~> Y-bTKSn Dh4Lffy 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 B>1,I'/$. ?;o0~][! 建模任务 LBq2({=" @Y `Z3LiR$ R]yce2w" z |= cc >] 由于组件倾斜引起的干涉条纹 m!KEK\5M? rGQD+ d 2pmj*Y3"8 1qR$ Yr\ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 %~:\f#6 j*>Df2z
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