摘要
Mw\/gm_3 .1t$(]CyC 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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;^=eiurv {t;Q#Ou. 设计任务
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.o Ni(D[?mZ 仅位相透射设计(IFTA)
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'N,x=1R5 \I/l6H>o3 仅位相透射设计(IFTA)
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\$yI'q qV@xEgW#r 超表面晶胞分析
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ok_"wB 构建超光栅
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~5:]Oux '355Pce/ 初始超表面设计的评估
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4Qz :c!7rh7O 参数优化
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^^12) YxGIv8O] 优化超光栅设计的评估
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29,`2fFr VirtualLab Fusion的工作流程
P2 !~}{- 分析超表面晶胞
7EI(7:gOn - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
[B+o4+K3 构造超光栅
A}t.`FLP,j 分析光栅衍射效率
L((z;y>q| - 光栅级次分析 [用例]
QbV)+7II= 光栅
结构参数优化
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g6g FGy7KVR
TN7kt]a2 ~Xh(JK] VirtualLab Fusion技术
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