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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 R^JtWjJR  
     z3yAb"1Hg  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 LJ*W&y(2>Q  
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    建模任务 }#`-mRaU  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) :g)`V4%  
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    某一位置的Talbot图样 6" GHVFB  
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    某一位置的Talbot图样  TsI%M  
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    不同位置的Talbot图样 "jP{m; p  
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    沿Z轴的强度 kaNK@a=e|/  
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    走进VirtualLab Fusion t ;bU#THM  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 dC 8,  
    crr#tad.  
     构建光栅结构 #;s5=aH  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] q#P@,|nc:  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] })5I/   
    I_iXu;UX  
     通过参数运行计算不同位置的强度 nT/Az g  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Qjd<%!]+\  
    }/.GB5Ej  
    OEXa^M4x   
    p!H'JNG  
    VirtualLab Fusion技术 *.A{p ;JC(  
    A%% Vyz  
     DkeFDzQ5  
       W$Op/  
     
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