1. 摘要
1Pc'wfj O;tn5 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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W`kgYGnFG N/p_6GYMa 2. 建模任务
s=+G%B' T[J_/DE@ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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D':A-E C<ljBz`,t 3. 聚焦区域的探测场
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c0~'5Mlp >n62csO 4. 来自测试对象的直接反射
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<z PyID` 48VsHqG v4G kf 5. 待测目标成的像
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yo=d"*E4^ 7tQiKrhp 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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5irOK9hK L K$hV"SYb 7. 走进VirtualLab Fusion
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j--#vEW S3r\)5%; 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
bE{`g]C5 Gy5W;,$q 'lF|F+8 使用界面构造光栅结构
PC5FfX - 使用界面配置光栅结构[用例]
mCo5Gdt 复杂
系统中的光栅建模
+(
d2hSIF -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
!~#31kL& 正确设置通道以进行多通道
仿真 \$I
)} - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
ueOvBFgZ •使用
参数运行检查影响/更改
n >^?BU - 参数运行文档的使用[用例]
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U7N<!6 8MdKH7 9. VirtualLab Fusion 技术
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