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摘要 kx;7/fH 9A87vs4[
ru|*xNXKgC VxE;tJ>1 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 A@-U#UvN 0}po74x*r 建模任务 +pQ3bX eI%kxqc
S;oRE'kk w-C%,1F,/ 微结构 PEaZ3{- OzR<jCOS
Cxe(iwa.
,W;|K 5 bf.yA:~U 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: OLV3.~T K[x=knFO
衍射光学元件(DOE)和微结构组件 2B5Ez,'#x }}bMq.Q' 微结构组件的配置 u|k_OUTq B
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[6F }."c - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 7r2p+LP[ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 ?y__ Vrw - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 h iK}& - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 /82E[P"}6R B>sQcZ: 总结-组件… ='@k>Ka+ igEqty!.
43 <i3O kq([c r :^`WrcOJ #K iqV6E 监测器平面上的衍射图案 aOQT-C[
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Z,"YMUl' 0k4XVd+Nv 监测器平面上的衍射图案 ):A.A,skf :_`Yrx5
=kCiJ8q| t~BWN 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ltMcEv-d0 yU"#2 *C 高度缩放调制 *pAB dP+ O@w_"TJP/z
hh2&FI 7Jd&9&O U 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 \Co
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PrrUo 3#GIZL}!x VirtualLab Fusion技术 1=ZQRJW0B P0U&+^W"9
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