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摘要 /|C* tX_R_]v3 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 Lr$go6s p@xf^[50k
RtTJ5@V( haK3?A,"_A 寻找组件内部光场分析器: FMM `6~Aoe Yc_8r+;(
<>y;.@}Q +ElfZ4 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 D$
dfNiCH ,|y:" s &Sw%<N*r 评估模式 +6HVhoxU# ^o3"#r{:+ a{^m-fSaR" f$e[u
Er 评估区域 3x{t( ,':fu 6Ypc` r`W)0oxD 光栅类型 n.!#P| $q6BP'7 52:HNA\E/ A9I{2qW9+Z 光栅表面的采样 uwzvb gup? $HHs ^tW vQosPS_2L n.'8A(,r3 光栅表面的采样 +)!Y rKuu S?1AFI9{ k1w_[w[
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