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    [讨论]有没有了解或者知道积分散射显微镜的? [复制链接]

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    离线datou
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2005-11-12
    这种低成本的非接触显微镜,不知道前景如何?
     
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    离线liujj
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    只看该作者 1楼 发表于: 2005-11-14
    不知道楼主指的是什么?显微镜基本上都是非接触式的
    离线moonljy
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    只看该作者 2楼 发表于: 2005-11-15
    恩,没听说过。楼主简单介绍下吧
    离线网络飞虫
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    只看该作者 3楼 发表于: 2005-11-15
    介绍一下,大家讨论讨论,希望这个特色版块打出名气.
    离线datou
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    只看该作者 4楼 发表于: 2005-11-15
    哈哈,有人关注,真好! uTpKT7t  
    BcX}[?c  
    我还不太了解显微镜,上面的表述可能有常识性错误,海涵海涵! UG s <<  
    V,<,;d fR  
    所谓积分散射显微镜呢,主要是针对超光滑表面的,表面粗糙度1A量级,比如微电子中的硅片,以及激光腔的反射片透射片等。 P|v;'9  
    iH9g5G`O  
    原理很简单,入射光打到样品表面,除了镜面反射之外,在各个方向(样品一侧的2派弧度内)都有微弱的散射光(Scattering),其强度分布可以从衍射理论推出,称为ARS分布;而把ARS在半球空间内积分,称为总积分散射(TIS),理论表明,TIS与样品表面粗糙度之间有个简单的关系,故可以通过测量TIS来得到样品的表面形貌。 U)zd~ug?m  
    oIt.Pc~;'#  
    所谓非接触主要是针对原子力显微镜(AFM)来讲的,因为AFM是可以测量到1A量级的,但是会损伤表面。 q+x4Od3  
    P0Ds7xh]h  
    注:A为10的-10次方米。 A]Zp1XEG  
    /R''R:j  
    不知我讲清楚没有,欢迎大家继续讨论。
    离线liujj
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    只看该作者 5楼 发表于: 2005-11-18
    是不是可以这样理解:由于所看样品表面非常光滑,其散射光很少,所以必须用积分的方法来观察?
    离线liujj
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    只看该作者 6楼 发表于: 2005-11-18
    再问问主要要看样品的什么指标呀
    离线datou
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    只看该作者 7楼 发表于: 2005-11-21
    不是散射光少,而是微弱;虽然微弱,但还是能测的,单独测散射光(角分布)的叫微分散射仪。 E;$t|~ #  
    Nk3 ]<#$  
    积分的原因是TIS(总散射积分)可以反映表面粗糙度。 7V4 iPx  
    RT9fp(6*  
    主要看样品的表面粗糙度,要达到1A量级,就是能分辨这样的超光滑表面,找出好的片子和差的片子
    离线liujj
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    只看该作者 8楼 发表于: 2005-11-21
    那用途很窄呀,表面光洁度可以用金相显微镜来观察
    离线datou
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    只看该作者 9楼 发表于: 2005-11-23
    呵呵,是有点窄,专门为我们的某个项目服务的。 O~">-'f  
    不过应用领域还算可以的,微电子领域等都有应用,外国有很多人在搞 t82Bp[t  
    呵呵,我们是做研究的,可能不那么重视市场