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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    在线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 GE|V^_|i  
    -0Ps. B  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 2gA6$s7  
    V[#jrwhA  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ,a}+Jj{  
    D ,nF0p  
    所需工具箱子:光栅工具箱 =m UtBD.;  
    %k9GoX_  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 BRzrtK  
    Gx!Y 4Q}-  
    建模任务 )Zox;}WK+  
    W 5-=,t  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 1$4dzI()  
    F&^u1RYz  
    _G@)Bj^*  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 *5u0`k^j  
    q>t#5Z81  
    i!(u4wTFF  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 dj 4:r!5_  
    K1Mn_)%  
    b:2# 3;)  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    m;'ebkq  
    L\a G.\  
    1GE[*$vuq  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ",Mr+;;:[  
    FG/1!8F  
    uWkW T.>$  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 G8}k9?26(  
    JD9)Qelw^$  
    qx|~H'UuBN  
    X线偏振光模拟结果:
    \I (g70  
     Z/RSZ-  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 a[I :^S  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 *lc|iq\  
    wNtC5  
    T,r?% G{XE  
    Y线偏光模拟结果 7_HFQT1.N  
    }20~5!  
    1 8%+ Hy=  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ?k@^U9?R  
    结论: qz95)  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    Lcb5^e?'Q  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?