切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 803阅读
    • 0回复

    [讨论]关于高速超精密激光干涉仪 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线gangzi0801
     
    发帖
    1103
    光币
    13968
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-17
    关键词: 激光干涉仪
    哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉,目前可用于350nm到28nm工艺的光刻机样机集成研制和性能测试,意味着我们离光刻机又近了一步。 DB_ x  
    (@M=W.M#  
    大家一起来交流一下,关于高速超精密激光干涉仪的知识和技术吧。
     
    分享到