切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 790阅读
    • 0回复

    [讨论]关于高速超精密激光干涉仪 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线gangzi0801
    技术专家
     
    发帖
    1098
    光币
    13866
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-17
    关键词： 激光干涉仪
    哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉仪，目前可用于350nm到28nm工艺的光刻机样机集成研制和性能测试，意味着我们离光刻机又近了一步。 .eR1\IAm  
    iT>u&0B-  
    大家一起来交流一下，关于高速超精密激光干涉仪的知识和技术吧。
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表