[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 X_qXH5^%  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 TU/J]'))C  
>W;i2%T  
1）标量衍射理论设计 $o/>wgQY-  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 VPHCPGrk  
ZeeuH"A  
         "jHN#}  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） @K9T )p]  
                           !r
|X6`g  
z)%1i  
（b）达曼光栅衍射效率 8VZ-`?p  
<-F"&LI{<  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 #-;BU{3*  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 my1kF%?  
BGX@n#:  
                               US4Um>j  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） L,6Y=?  
yShHFlO=  
ju#63  
（b）达曼光栅衍射效率 =lwS\mNs  
CC\z_C*P-p  
3）rsoft仿真 ~S3eatM$9  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） *3$,f>W^  
qx)k1QY  
                 :j~5(K"  
（a）标量衍射结果结构图     akQH+j  
hptuTBD  
to3J@:V8e  
（b）衍射效率             f[b YjIX  
eEQ[^i  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 !qlGt)G3  
blcKtrYg  
                       *K|aK p}  
（a）矢量衍射结果结构图   vi8~j  
yUO|3ONT  
                               YJ$ewK4E#.  
（b）衍射效率     @@wx~|%  
:2E1aVo4b  
2、偶数型达曼光栅设计 G+uiZ(p>  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 86#mmm)  
                     ZRB 0OH  
（a）结构图 a[n$qPm}  
)\-";?sYky  
sw|:Z(`  
（b）衍射效率                                                                     7X(]r1-+\  
{yR)}r  
                                   d|]O<]CG_  
（a）结构图 n*Vd<m;w  
W(h8!}  
       wkD:i2E7  
（b）衍射效率