[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 4x8e~/  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Skm$:`u;  
.Z[Bz7  
1）标量衍射理论设计 6 <&jY  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 QuEfV?)_4  
tl.I:A5L  

图片:2.jpg

         uL`6}0  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） <zmtVE*>g  
                           i7@qfe$fR  

图片:23.jpg

VU~ R  
（b）达曼光栅衍射效率 Grot3a  
kGaK(^w  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 xc|pl!ns  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 aI8k:FK"  
Z' cQ< f  

图片:untitled.jpg

                               {R`,iWV  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Yc5{M*w  
\SA"DT  

图片:untitled2.jpg

P(H,_7 4  
（b）达曼光栅衍射效率 pVuJ4+`  
\2$-.npz  
3）rsoft仿真 E:EXp7  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ",U>;`  
2|J>e(&akY  

图片:捕获77.JPG

                 RL0#WBR  
（a）标量衍射结果结构图     m|tE3UBNv  
m53XN  

图片:捕88获.JPG

] qT\z<}  
（b）衍射效率             j
lhyn0  
CYIp 3D'k  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 irqNnnMGEa  
j/I^\Ms  

图片:1获.JPG

                       qs$%/  
（a）矢量衍射结果结构图   hqEnD  
l)JNNcej  

图片:捕获.JPG

                               K|"97{*|2  
（b）衍射效率     &``dI,NC  
'%JIc~LJ  
2、偶数型达曼光栅设计 /^#8z(@B  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 k]J!E-yI8  

图片:捕获55.JPG

                     2&L2G'  
（a）结构图 {Ac5(li_  
'o%IA)sF  

图片:捕获66.JPG

1J(` kQ)c  
（b）衍射效率                                                                     *-KgU'u?  
|nfFI  

图片:捕获55.JPG

                                   yJ(BPSt  
（a）结构图 *3,GQ%~/z  
v37TDY3;  

图片:捕获66.JPG

       SV-M8Im73z  
（b）衍射效率