[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 V\vt!wBcB  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 LB$#]
Z  
n Hz Xp:"  
1）标量衍射理论设计 @vs+)aRa  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 c>mTd{Abi  
M8(N9)N  

图片:2.jpg

         Z^wogIAV  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 9bwG3jn4?  
                           E
9<oA.  

图片:23.jpg

9#cPEbb~  
（b）达曼光栅衍射效率 clyZD`*  
C;>!SRCp  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 b*Sw")#  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 wkc)2z   
> &tmdE  

图片:untitled.jpg

                               1UdET#\  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 4sMA'fG  
*5m4j=-  

图片:untitled2.jpg

oR[-F+__  
（b）达曼光栅衍射效率 @?e+;Sx  
OXDEU.  
3）rsoft仿真 ;#)sV2F\&  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 5d|h
P4fEc  
{0?^$R8j  

图片:捕获77.JPG

                 l^!raoH]q  
（a）标量衍射结果结构图     I'[gGK4F  
D6N32q@  

图片:捕88获.JPG

=/kwUjC?  
（b）衍射效率            
o=C:=  
oDW)2*8yF  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。  |pgrR7G'  
uSQRI9/ir2  

图片:1获.JPG

                       *{<460`!q  
（a）矢量衍射结果结构图   vb.}SG>  
FIu|eW+<l  

图片:捕获.JPG

                               :yxP3e%rp  
（b）衍射效率     yd|ao\'=  
<~z@GMQCf  
2、偶数型达曼光栅设计 L5DeLF+  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 1EiSxf  

图片:捕获55.JPG

                     $&Lw 2 c0  
（a）结构图 JIatRc?g  
me@k~!e"z  

图片:捕获66.JPG

^i[bo3  
（b）衍射效率                                                                     F81Kxcs  
R+r;V]-/
 

图片:捕获55.JPG

                                   {c}n."`  
（a）结构图 PjE%_M<  
)6b`1o!7  

图片:捕获66.JPG

       5Sz&j  
（b）衍射效率