[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 I,{9vew  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 W\{gBjfE  
JwzA'[tM  
1）标量衍射理论设计 MC5M><5\  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 DzLm~ aF  
7y",%WYSD  

图片:2.jpg

         H6<\7W89y  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `pp"htm   
                           M) 9Ss  

图片:23.jpg

~o:lh],~  
（b）达曼光栅衍射效率 0T!_;IQ  
Sr_]R<?  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 f1Ruaz-  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 5 ^}zysY`  
f"h{se8C  

图片:untitled.jpg

                               >6XGF(G   
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） +p =n-  
A"S{W^iL  

图片:untitled2.jpg

)W&H{2No  
（b）达曼光栅衍射效率 dMsX}=EI<  
xzdqE  
3）rsoft仿真 ~4th;#'  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） !+T9NqDv[  
7Rr(YoWa  

图片:捕获77.JPG

                 \WD}@6) ~  
（a）标量衍射结果结构图     8UB-(~  
[w
AI;=.  

图片:捕88获.JPG

62&E]>A(i  
（b）衍射效率             'xAfcP[^  
`gq@LP"o  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ugg08am!  
dBY,&=T
4p  

图片:1获.JPG

                       uX@RdkC  
（a）矢量衍射结果结构图   rlYAy5&  
g7k|Ho-W  

图片:捕获.JPG

                               Oy$*ZG)  
（b）衍射效率     kUAjQ>  
x|l[fdm5  
2、偶数型达曼光栅设计 lz 
X0B&:  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 yG?,8!/]  

图片:捕获55.JPG

                     iXtar;%  
（a）结构图 wmFI?   
Wa~'p+<c~b  

图片:捕获66.JPG

sHO6y0P  
（b）衍射效率                                                                     > TG:}H(J  
j+Nun  

图片:捕获55.JPG

                                   RE`XyS0Q  
（a）结构图 mM"!=' z  
&eq>>  

图片:捕获66.JPG

       ~4o2!!^tI  
（b）衍射效率