[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 JVx-4?  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 *MCkezW7{  
gHH[QLD=I  
1）标量衍射理论设计 \gir  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 *2m{i:3  
py/#h$eY  
        
ln09_Lr  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 8hX/~-H  
                           \VAS<?3  
%wq;<'W  
（b）达曼光栅衍射效率 KW3
6nY\7  
-0*z"a9<p8  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 S]c&T`jx  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 jpiBHi]5+  
.Jc<Gg  
                               s<LYSrd  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） t8#u}u  
?[X^'zz}  
QIcc@PGT9a  
（b）达曼光栅衍射效率 AHP;N6Y6  
7nawnS  
3）rsoft仿真 RDu{U(!  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ?ieC>cr  
cD<5~`l  
                 (;nh?"5  
（a）标量衍射结果结构图     ~Y7:08  
K3J,f2Cn$  
@$|bMH*1:  
（b）衍射效率             5&Le?-/\  
Bc?KAK  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 sH{(=N  
HUGhz  
                       h`MTB!o  
（a）矢量衍射结果结构图   ]6?6 k4@  
I^gLiLUN*6  
                               ";w"dfC^  
（b）衍射效率     CGZ3-OW@E  
|#O>DdKHT
 
2、偶数型达曼光栅设计 Cfst)[j  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Z2I2 [pA  
                     ,D{D QJ(B  
（a）结构图 ggzcANCD<  
4Mv]z^  
m+dJ3  
（b）衍射效率                                                                     o;{BI
Q1  
J4m2|HK  
                                   zCFXQi  
（a）结构图 = _/XFN  
sK|+&BC
 
       6F3F
cUL  
（b）衍射效率