1、奇数型达曼
光栅设计
,?P @ :S<8 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
A90o X1l 8S "v RR 1）标量衍射理论设计
ng; ,;o. 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
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j wWQv]c% 
HE,# pj(D （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
"} Of f oD XUa5x 
T& （b）达曼光栅衍射效率
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2Ho
2）矢量衍射理论RCWA算法设计
G>qzA gA 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
_pnJ/YE q["CT& 0 
}Z u>?U （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
=X'i^Q zB kS1qMn 
Po#;SG#Ee （b）达曼光栅衍射效率
: " 9F.U : n 4? 3）rsoft仿真
&9g4/c-?$ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
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D G}} S 5 （a）标量衍射结果结构图
-{dsl|Dl (iXo\y` z 
P,^`|\#7 （b）衍射效率
l *T> 9yC {f3&s4xj= rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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9=p^E# d （a）矢量衍射结果结构图
a;jXMR U ?P5 cN 
0wU8PZ Nj （b）衍射效率
R}'kF63u* .{%~4$yu7 2、偶数型达曼光栅设计
lS&$86Jo( 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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]PJb 9$f2 （a）结构图
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5RCZv\Wd& （b）衍射效率
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~GZ!;An （a）结构图
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JD rh-6Zgj （b）衍射效率
