[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 E+|K3EJ  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ,6X__Z#rGT  
lQiw8qD  
1）标量衍射理论设计 Ke:WlDf  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 <CB%e!~.9  
A|4om=MO  
         2 6DX4  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） JS/ChoU  
                           4x}U+1B  
Lq$ig8V:O7  
（b）达曼光栅衍射效率 f_$hK9I  
|h%HUau  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 tSux5yV  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 v%c/eAF  
xAl8e  
                               %6%mf>Guf  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） _VRxI4q  
nW^h +  
4:S]n19nq  
（b）达曼光栅衍射效率 AE+BrN +"2  
)hl7)~S<  
3）rsoft仿真 2@lGY_O!m  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） M>|ZBEK  

C7G,M  
                 `"}).{N]C  
（a）标量衍射结果结构图     ,*dLE   
hJ]Oa7r  
.>#O'Z&q9  
（b）衍射效率             _WvVF*Q"k  
LGW:+c  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 a]7g\rg)  
Ww60-d}}Q  
                       71%$&6  
（a）矢量衍射结果结构图   =+K?@;?  
,`RX~ H=C  
                               cD6^7QF  
（b）衍射效率     j{r@>g;3  
#;~HoOK*#  
2、偶数型达曼光栅设计 ^"D^D`$@  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Hi=</ Wy;  
                     _k26(rdI@-  
（a）结构图 UimofFmI%  
AX$r,KmE  
L%(NXSfu7  
（b）衍射效率                                                                     2"?DaX  
,mHUo4h1O  
                                   f,E7eL@  
（a）结构图 EnlAgL']|  
vG'#5%,|  
       ~ z3J4s  
（b）衍射效率