切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2106阅读
    • 0回复

    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线yalx
     
    发帖
    18
    光币
    53
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 kcGs2Y_*&  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 5i `q  
    ^x8*]Sz#x  
    1)标量衍射理论设计 ' P5t tI#|  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 `p0+j  
    GvQKFgO6h  
             N.R,[K  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) y;aZMT.YI  
                               j:ze5FA+  
    6vy(@z  
    (b)达曼光栅衍射效率 Jm0o[4  
    Z&BJ/qk \-  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 fP<Tvf  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 2 u:w  
    BSU%.tmI  
                                   J=v" HeVm  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) c4H5[LPF  
    [HNWM/ff7+  
    H809gm3(Z  
    (b)达曼光栅衍射效率 O_-Lm4g?4  
    `P/7Mf  
    3)rsoft仿真 )\oLUuL`;  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) 4L<h% 'Zn  
    Ne>yFl"u  
                     #2AKO/  
    (a)标量衍射结果结构图     -!w({rP  
    }e[;~g\&  
    wNQhz.>y  
    (b)衍射效率             =@BVO @z@  
    `?@7T-v  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 A6-K~z^  
    LEu_RU?  
                           l@:|OGD;8  
    (a)矢量衍射结果结构图   fH{ _X  
    fviq}.  
                                   jNjm}8`t  
    (b)衍射效率     l6kqP  
    G!Gbg3:4e5  
    2、偶数型达曼光栅设计 /4K ^-  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。  NW$_w  
                         ]dvNUD   
    (a)结构图 :&59N^So|  
    $Sg5xkV,a  
    04npY+1 8%  
    (b)衍射效率                                                                     (tY0/s  
    Eu;f~ V  
                                       c_p7vvI&c0  
    (a)结构图 1^R[kaY  
    {c|{okQ;Q  
           ON r}{T%@/  
    (b)衍射效率    
     
    分享到