[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Z@}sCZ=#A  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 pXve02b1B  
|PI)A`  
1）标量衍射理论设计 :fRmUAK%  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 [gpOuTW  
ob)Q,;8R  
         QH4k!^  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） u
ji
ZM  
                           m"<4\;GK  
8^8>qSD1  
（b）达曼光栅衍射效率 R!@|6=]iG  
.N/GfR`0/<  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 _2]O^$L  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 L{Q4=p,A  
O%fUm0O d  
                               J`YnT  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ] xb]8]  
vc )9Re$  
Ica3  
（b）达曼光栅衍射效率 09G9nu;&{  
/%62X{=>
;  
3）rsoft仿真 {%=S+89l  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） w~4 z@/^"p  
K?9WY]Ot  
                 kmmL>fCV"M  
（a）标量衍射结果结构图     O;UiYrXU  
{cmo^~[L$  
8oa)qaG1  
（b）衍射效率             ;0;3BH A  
==nYe{2  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 s`;0 t YG  
C5>{Q:.`e'  
                       m~##q}LZ  
（a）矢量衍射结果结构图   KLG6QBkj  
M`)s>jp@w  
                               ;&K3[;a  
（b）衍射效率     mgo'MW\  
|~z8<  
2、偶数型达曼光栅设计 A *a{  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Km[]^;6  
                     W"W@WG9X0  
（a）结构图 BHF{-z  
\H,V 9!B  
w/qQ(]n8  
（b）衍射效率                                                                     issT{&T  
jAA'hA  
                                   $eK8GMxZ#  
（a）结构图 Z~duJsH  
$|>6z_3%  
       T
{hyt  
（b）衍射效率