[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 kc `V4b%  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 L!Cz'm"Nl  
\2 y5_;O  
1）标量衍射理论设计 Ih}1%Jq  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 Lw1EWN6}_&  
!y:%0{l  
         OZY,@c  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） H*^
\h?s  
                           xNK1h-t  
=&wmWy  
（b）达曼光栅衍射效率 {c?JuV4q?  
Ny- [9S-<  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计  +=q)  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 i':i_kU  
RyJ 1mAC  
                               -t2T(ha  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） |{r$jZeE  
ltB.Q  
LQ11ba  
（b）达曼光栅衍射效率 IP
`6bMd  
;22l"-F  
3）rsoft仿真 Uxfl_@lJ  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 7uorQfR?  
kd`0E-QU  
                 :<Y}l-x  
（a）标量衍射结果结构图     1n5(S<T  
DZ7 gcC  
C?
ib_K*  
（b）衍射效率             =<r8fXWZ  
~\)qi=  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 :A %^^F%  
3A:q7#m  
                       W7"{r)7  
（a）矢量衍射结果结构图   Pi,QHb`>  
\<Sv3xy&O  
                               PWRy7d  
（b）衍射效率     VErv;GyV  
n\Fp[9+Z\  
2、偶数型达曼光栅设计 %W,D;?lEo>  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 .:p2Tbo  
                     FLg*R/  
（a）结构图 =deMd`=J  

l0&EZN0V2  
]5~s"fnG  
（b）衍射效率                                                                     _=ua6}Xp  
sDr/k`>  
                                   >Rvx[`|O!m  
（a）结构图 Pq*s{  
~DRmON5 M  
       8l}1c=A}Vi  
（b）衍射效率