1、奇数型达曼
光栅设计
[Z0 &`qz 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
|{]\n/M G}mJtXT#= 1)标量衍射理论设计
;ej;<7+ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
nn$,|/ ;7&RmIXKh'
Zr'VA,v (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
M~;Ww-./ gPY2Bnw;l
mKynp (b)达曼光栅衍射效率
3]0ETcT R@t?!`f!+ 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
6w<jg/5t 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
g+p?J.+ R`Hyg4?
{[o=df/ (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
E>xdJ h9LA&!
3t[2Bd (b)达曼光栅衍射效率
ge?1ez2 21M@z(q* 3)rsoft仿真
om$)8'A,l 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
2 @Jw?+}vr Lm"a3Nb
2J9_(w
(a)标量衍射结果结构图
X'e@(I!0 PoY+Y3
#/!a=0 (b)衍射效率
` :Am#"j]} $/nU0W rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
}'a}s0h Zz=+?L
s2riayM9/
(a)矢量衍射结果结构图
"'-f?kZ 0Z8K +,'!
,*8}TIS(s (b)衍射效率
$S|bD$e Uaog_@2n, 2、偶数型达曼光栅设计
5`*S'W}\> 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
([iMOE[D3
HlgF%\@a+U (a)结构图
Hq"i0Xm "zJ1vIZY
1XUsr;Wz (b)衍射效率
Y~hBVz2g G+[hE|L~y
f"q='B9_T\ (a)结构图
DzYi>
E:* }Zc.rk
i5w (b)衍射效率