1、奇数型达曼
光栅设计
kcGs2Y_*& 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
5i `q ^x8*]Sz#x 1)标量衍射理论设计
' P5ttI#| 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
`p0+j GvQKFgO6h
N.R,[K (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
y;aZMT.YI j:ze5FA+
6vy(@z (b)达曼光栅衍射效率
Jm0o[4 Z&BJ/qk
\- 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
fP<Tvf 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
2
u:w BSU%.tmI
J=v"
HeVm (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
c4H5[LPF [HNWM/ff7+
H809gm3(Z (b)达曼光栅衍射效率
O_-Lm4g?4 `P/7Mf 3)rsoft仿真
)\oLUuL`; 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
4L<h%
'Zn
Ne>yFl"u
#2AKO/ (a)标量衍射结果结构图
-!w({rP }e[;~g\&
wNQhz.>y (b)衍射效率
=@BVO@z@ `?@7T-v rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
A6-K~z^ LEu_RU?
l@:|OGD;8 (a)矢量衍射结果结构图
fH{ _X fviq}.
jNjm}8`t (b)衍射效率
l6kqP G!Gbg3:4e5 2、偶数型达曼光栅设计
/4K ^- 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
NW$_w
]dvNUD (a)结构图
:&59N^So| $Sg5xkV,a
04npY+1
8% (b)衍射效率
(tY0/s Eu;f~ V
c_p7vvI&c0 (a)结构图
1^R[kaY {c|{okQ;Q
ONr}{T%@/ (b)衍射效率