1、奇数型达曼
光栅设计
R ?kyJ4S 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
`HM?Fc58 DIc -"5~ 1）标量衍射理论设计
+r]2. 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
U#n1N7P|$F <~.1>CI9D3 
AhSN'gWpbF （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
6.QzT( ohB@ij C! 
sMWNzt （b）达曼光栅衍射效率
*f+D V[DF + C[%^G-: 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
k iY1 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
Md1ePp] X~g~U|B@ 
y wbdV-t/ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
hdH}4W H}}C>p"!, 
lyyR yFfQ （b）达曼光栅衍射效率
XRWy#Pj l>jNBxB|/A 3）rsoft仿真
QpMi+q
Y 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
eq$.np rTtxmw0 
rW0-XLbL5H （a）标量衍射结果结构图
&qae+p? 7,Q>>%/0P 
^1,VvLA+ （b）衍射效率
|]x>|Z?/u xU;;@9X rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
IkJ-*vI6 {3 *Zx"e
6{ TUs>~ （a）矢量衍射结果结构图
UB|}+WA 3 di]TS9&9 
mvt%3zCB! （b）衍射效率
Ex}hk! # Q61c 2、偶数型达曼光栅设计
5Z*6,P0 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
c^EU &q{4 
|#`qP^E （a）结构图
FWDAG$K@0 9._owKj 
vAjvW&'g （b）衍射效率
Y4I;-&d's , FD RU 
2N[/Cc2Tg/ （a）结构图
tkKiuh?m :[.**,0R 
qv.s -@l8 （b）衍射效率
