[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 [Z0&`qz  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 |{]\n/M  
G}mJtXT#=  
1）标量衍射理论设计 ;ej;<7+  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 nn$,|/  
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图片:2.jpg

         Zr'VA,v  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） M~;Ww-./  
                           gPY2Bnw;l  

图片:23.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 3]0ETcT  
R@t?!`f!+  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 6w<jg/5t  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 g+p?J.+  
R`H
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图片:untitled.jpg

                                {[o=df/  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） E>
xdJ  
h9LA&!  

图片:untitled2.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 ge?1ez2  
21M@z(q*  
3）rsoft仿真 om$)8'A,l  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 2@Jw?+}vr  
Lm"a3Nb  

图片:捕获77.JPG

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（a）标量衍射结果结构图     X'e@(I!0  
PoY+Y3  

图片:捕88获.JPG

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（b）衍射效率             ` :Am#"j]}  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 }
'a}s0h  
Zz=+?L  

图片:1获.JPG

                       s2riayM9/  
（a）矢量衍射结果结构图   "'-f?kZ  
0Z8K+,'!  

图片:捕获.JPG

                               ,*8}TIS(s  
（b）衍射效率     $S|bD$e  
Uaog_@2n,  
2、偶数型达曼光栅设计 5`*S'W}\>  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ([iMOE[D3  

图片:捕获55.JPG

                     HlgF%\@a+U  
（a）结构图 Hq"i0Xm  
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图片:捕获66.JPG

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（b）衍射效率                                                                     Y~hBVz2g  
G+[hE|L~y  

图片:捕获55.JPG

                                   f"q='B9_T\  
（a）结构图 DzYi> E:*  
}Zc.rk  

图片:捕获66.JPG

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（b）衍射效率