[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ~hZr1hT6L  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 a Xn:hn~O  
"u.
'JE;j  
1）标量衍射理论设计 sSLVR^  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 }ed{8"bj  
n#l~B
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图片:2.jpg

         WaPuJ5;e  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） :hBLi99 o  
                           Y|
l&mK?  

图片:23.jpg

@tX8M[.eA  
（b）达曼光栅衍射效率 7;I;(iY  
>"q?P^f/  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 >vR7l&"  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 | |u  
LE|DMz|J  

图片:untitled.jpg

                               43}uW,P  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ,/YTW@N  
1`sTGNo  

图片:untitled2.jpg

!gm@QO cF  
（b）达曼光栅衍射效率 i*]$_\yl"  
ZBkbr  
3）rsoft仿真 S"cim\9xP  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Ihd{tmr<  
 nb\pBl  

图片:捕获77.JPG

                 1)H;}%[  
（a）标量衍射结果结构图     .T1n"TfsGO  
G@3Jw[t  

图片:捕88获.JPG

N}ugI`:  
（b）衍射效率             pkE4"M!3=  
P8X59^cJ  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 @iU(4eX  
C"0vMUZ  

图片:1获.JPG

                       Eb7GiRT#  
（a）矢量衍射结果结构图   M+VAol}1  
c :2w(BVi  

图片:捕获.JPG

                               &X6hOc:``\  
（b）衍射效率     VBtdx`9  
C)mR~Ey  
2、偶数型达曼光栅设计 `< 82"cAT{  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 =`k',V_  

图片:捕获55.JPG

                     {pXqw'"1.  
（a）结构图 T<%%f.x[s  
yf2P6b\  

图片:捕获66.JPG

6IJH%qUx'  
（b）衍射效率                                                                     z?t75#u9.  
GP(ze-Yp  

图片:捕获55.JPG

                                   \iA.{,VX  
（a）结构图 d f j;e%H  
=PjxMC._  

图片:捕获66.JPG

       0}"'A[xE  
（b）衍射效率