[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 E,K>V:P*  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 u3,O)[qV  
)cP)HbOd=  
1）标量衍射理论设计 v2:i'j6  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 zA.0Sm  
wsH_pF  

图片:2.jpg

         *TI?tD  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） |</)6r  
                           dT?3Q;>B?  

图片:23.jpg

,=[%#gS  
（b）达曼光栅衍射效率 Ks6\lpr  
dVHbIx  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 s
0D4K  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Z0-?;jA@  
)i[Vq|n  

图片:untitled.jpg

                               YOrq)_ l  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） '6>*J  
G-RDQ  

图片:untitled2.jpg

hLk6Hqr7  
（b）达曼光栅衍射效率 z,^~H  
hh%?E\qM  
3）rsoft仿真 -<5{wQE;|  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） %+Z*-iX  
#)]t4wa_W  

图片:捕获77.JPG

                 T{f$S  
（a）标量衍射结果结构图     ez*QP|F*9  
q}VdPt>X/  

图片:捕88获.JPG

0{8L^ jB/  
（b）衍射效率             !d!u{1Y&  
kL0K[O
 
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 S7PWP<9  
4G&dBH  

图片:1获.JPG

                       qz (x  
（a）矢量衍射结果结构图   n;N79`mZC  
s<k2vbhI  

图片:捕获.JPG

                               8 p[n>qV9  
（b）衍射效率     S 593wfc  
v}V[sIs}  
2、偶数型达曼光栅设计 V(DY!f_%  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 2xX:Q'\2  

图片:捕获55.JPG

                     u{\'/c7G  
（a）结构图 FN=WU< 5  
P+|L6w*|[  

图片:捕获66.JPG

pb)8?1O|s  
（b）衍射效率                                                                     SZHgXl3:  
b"N!#&O
]  

图片:捕获55.JPG

                                   X~JP 1  
（a）结构图 hdrsa}{g  
}58MDpOF1  

图片:捕获66.JPG

       p`c_5!H

 
（b）衍射效率