[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Z8dN0AqZ  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 JdYF&~  
3F'dT[;  
1）标量衍射理论设计 @[b:([  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 MqBATW.pmJ  
OYtus7q<  

图片:2.jpg

         6-X?uaY)os  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
x5 ~E'~_  
                           \HQb#f,
  

图片:23.jpg

Mjvso0zj  
（b）达曼光栅衍射效率 [;#.DH]  
&CmkNm_B  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 hic$13KuP  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Rw{v"n  
8kc'|F\  

图片:untitled.jpg

                               kt3#_d^El  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ;
Kq?*H  
pH:|G  

图片:untitled2.jpg

1&pP}v ?  
（b）达曼光栅衍射效率 /b
u<,o  
+\M
m (Nd  
3）rsoft仿真 geN%rD
  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） $)7f%II  
rLVc<595  

图片:捕获77.JPG

                 e&4wwP"`<  
（a）标量衍射结果结构图     xAz4ZXj=q  
g)D}p@>m  

图片:捕88获.JPG

=+=|{l?F  
（b）衍射效率             kGqf@ I+  
>(ww6vk2  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 +;iesULXn  
Tc(v\|F,  

图片:1获.JPG

                       8=o(nFJw  
（a）矢量衍射结果结构图   U`p<lxRgQ  
>~>[}d;glw  

图片:捕获.JPG

                               x,c68Q)g  
（b）衍射效率     ![!b^:f  
~+nSI-L  
2、偶数型达曼光栅设计 Iw|[*Nu-  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 2^ZPO4|  

图片:捕获55.JPG

                     KdpJ[[Ug/  
（a）结构图 '^(v8lCu  
}o:sx/=u_  

图片:捕获66.JPG

N,,2VSUr  
（b）衍射效率                                                                     d>98 E9  
(g:W|
hS  

图片:捕获55.JPG

                                   Xgc\O08  
（a）结构图 % P)}(e6y  
}UdqX1jz  

图片:捕获66.JPG

       VEEeQy
  
（b）衍射效率