[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 |sqZ$Mu  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 >-T`0wI  
di9!lS$  
1）标量衍射理论设计 .=9s1~]  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 -0o[f53}p  
q^8EOAvnZ  

图片:2.jpg

         I^*'.z!4Q  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） VvByHcLv  
                           Q^}%c U0  

图片:23.jpg

fLN!EDq  
（b）达曼光栅衍射效率 @$Qof1j'%  
ydl jw  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 m(D]qYwh  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 >QQ(m\a$  
(J$\-a7<f  

图片:untitled.jpg

                               ,lYaA5&I  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） qOCJTOg7  
|YJCWFbs8  

图片:untitled2.jpg

~+D*:7Y_  
（b）达曼光栅衍射效率 #$S}3 o  
h4&;?T S  
3）rsoft仿真 =<f-ob8,  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） PL0`d`TI  
&Y|Xd4:  

图片:捕获77.JPG

                
R)Q4  
（a）标量衍射结果结构图     PsjbR  
Df07y<>7Q  

图片:捕88获.JPG

Ob+9W  
（b）衍射效率             /k\01hc`  
=Je>`{J  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 (Ha@s^?.C  
H(+<)qH  

图片:1获.JPG

                       =Cf]  
（a）矢量衍射结果结构图   /  Y
iQ\  
iMP  

图片:捕获.JPG

                               0V,Nv9!S  
（b）衍射效率     khd5 Cf[
 
Z%o7f6P0IX  
2、偶数型达曼光栅设计 4k}e28  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 XaI;2fMGI  

图片:捕获55.JPG

                     ?dy~mob  
（a）结构图  {E9v`u\  
E,G<_40  

图片:捕获66.JPG

l4'~}nn(Y  
（b）衍射效率                                                                     _v5t<_^N  
>X}{BDMb.  

图片:捕获55.JPG

                                   (ClhbfzD  
（a）结构图 -mNQ;zI1  
kka"C]!  

图片:捕获66.JPG

       _]#klL  
（b）衍射效率