切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2100阅读
    • 0回复

    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线yalx
     
    发帖
    18
    光币
    53
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 [Z0&`qz  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 |{]\n/M  
    G}mJtXT#=  
    1)标量衍射理论设计 ;ej;<7+  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 nn$,|/  
    ;7&RmIXKh'  
             Zr'VA,v  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) M~;Ww-./  
                               gPY2Bnw;l  
    mKynp  
    (b)达曼光栅衍射效率 3]0ETcT  
    R@t?!`f!+  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 6w<jg/5t  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 g+p?J.+  
    R`Hyg4?  
                                    {[o=df/  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) E>xdJ  
    h9LA&!  
    3t[2Bd  
    (b)达曼光栅衍射效率 ge?1ez2  
    21M@z(q*  
    3)rsoft仿真 om$)8'A,l  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) 2@Jw?+}vr  
    L m"a3Nb  
                     2J9_(w  
    (a)标量衍射结果结构图     X'e@(I!0  
    PoY+Y3  
    #/!a=0  
    (b)衍射效率             ` :Am#"j]}  
    $/nU0W  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 }'a}s0h  
    Zz= +?L  
                           s2riayM9/  
    (a)矢量衍射结果结构图   "'-f?kZ  
    0Z8K+,'!  
                                   ,*8}TIS(s  
    (b)衍射效率     $S|bD$e  
    Uaog_@2n,  
    2、偶数型达曼光栅设计 5`*S'W}\>  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 ([iMOE[D3  
                         HlgF%\@a+U  
    (a)结构图 Hq"i0X m  
    "zJ1vIZY  
    1XU sr;Wz  
    (b)衍射效率                                                                     Y~hBVz2g  
    G+[hE|L~y  
                                       f"q='B9_T\  
    (a)结构图 DzYi> E:*  
    }Zc.rk  
           i5w  
    (b)衍射效率    
     
    分享到