[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ],].zlN  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 -UT}/:a  
 !}$$:  
1）标量衍射理论设计 sDV Q#}a  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 }<:}XlwT%  
w4Z'K&d=  
         RD&PDXT4  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） vZ Lf  
                           4B][S'f  
wz8yD8M  
（b）达曼光栅衍射效率 FVBYo%Ap  
fF kj+  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 (7*}-Uy[C  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 =g
|FT  
Y<8vw d  
                               0m ? )ROaJ  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） E_LN]v  
zx7{U8*`<  
ml$o5&sN  
（b）达曼光栅衍射效率 T[A69O]v  
Rlirs-WQ  
3）rsoft仿真 rVsJ`+L  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ig &Y  
GPkpXVm  
                 ,Y48[_ymm  
（a）标量衍射结果结构图     Y nZiTe@  
YK~%xo  
DlNX 3  
（b）衍射效率             WuW^GC{7  
uW3!Yg@  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 hR|MEn6KC  
RpYERAgT  
                       3f;>" P}  
（a）矢量衍射结果结构图   {]|J5Dgfe  
\uMLY<]P  
                               VLN_w$iEq  
（b）衍射效率     {1 94!S4z  
I++. ee  
2、偶数型达曼光栅设计 &jr3B;g!C  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Z EO WO  
                     s"?3]P  
（a）结构图 "C3/T&F  
6S\8$  
kO-(~];  
（b）衍射效率                                                                     ws^ np  
~^b/(  
                                   BFW&2  
（a）结构图 <b<j=_
3  
Dn}Jxu'(  
       ei5~&  
（b）衍射效率