1、奇数型达曼
光栅设计
3t%uUkXl 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
5l(;+#3y/ r% mN]?u 1）标量衍射理论设计
;y5cs;s 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
;' J L$ = <;U "D .' 
k"Sw,"e>+ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
YT&_{nL# \ 5-]%D(y 
CB?.| )Xam （b）达曼光栅衍射效率
g3 x192f j&8 ~X2?* 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
xYwbbFGrG 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
2M1yw " DlIfr6F 
Saz+ GQ G （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
nMVThN*I g p} (w"?2 
>u4uV 8S （b）达曼光栅衍射效率
T 6phD8# ( !Ml2 3）rsoft仿真
={feN L 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
1N# TL"lMS +m>Kb edl 
(G$m}ng （a）标量衍射结果结构图
SAo"+% K9 0Zf 
\
2".Kb@ = （b）衍射效率
|:
nuT$( AvV.faa rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
Bq:@ [pCQ UdLC] 
Ho"FB|e （a）矢量衍射结果结构图
IOmIkx&`GP c wpDad[Kx 
da[l[b; （b）衍射效率
%LVk%kz Ke 'bH 2、偶数型达曼光栅设计
+d'h20 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
A #jiCIc 
5#2vSq!H （a）结构图
;#Mq=Fr-SG MGmtA( 
+Z{ 4OJK （b）衍射效率
y>~Ke UC ff: &MsA|, 
Q&F@[k （a）结构图
1W/=
=+%I 1e b1Lvn 
uHf~KYL （b）衍射效率
