1、奇数型达曼
光栅设计
7,|-%!p[ 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
rQK2&37-,@ * Yov>lO 1）标量衍射理论设计
J?5O 2n 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
-4b9( <acAc2 
Zx5vIm （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
R\yw9!ESd C s%'Af 
}?>30+42: （b）达曼光栅衍射效率
e )\s0#
4MRHz{`wa 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
cX1"<fD o 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
hW>@jT"t1C RXgi> Hz 
g9I2SdaJ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
Czb@:l%sc z -(dT 
~z> 2`^Z" （b）达曼光栅衍射效率
SL:o.g(>4 2hf]XV\ 3）rsoft仿真
)0PUK9 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
Tb}`]Y`X
61T"K 
H@__%KBw （a）标量衍射结果结构图
4jis\W}%L3 y"!+Fus9 
MsX`TOyO! （b）衍射效率
]=q?= %H *;+lF rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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5Z6 $90!k （a）矢量衍射结果结构图
YG?W8)T sxnj`z 
2={`g/WeE （b）衍射效率
#i. M-6SRd < 8r%_ '] 2、偶数型达曼光栅设计
tB}&-U|t[~ 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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ggPI 
"z< =S （a）结构图
Gt\ F),@ 0 4:^<n+{ 
?K I_>{ （b）衍射效率
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@(Ou;Uy （a）结构图
5 ah]E *"O7ml] 
uQ9P6w=Nt （b）衍射效率
