[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ;&A%"8o  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 P ]prrKZe,  
b{Qg$ZJeR  
1）标量衍射理论设计 _:0)uR LS  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 _w'N&#  
Y!+q3`-%T  

图片:2.jpg

         +FYQ7UE  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） g4`)n`  
                           T VuDK  

图片:23.jpg

AzfYw'^&9  
（b）达曼光栅衍射效率 3Mw2;.rk  
:'t+*{ff  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 /F3bZ3F  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Bl >)GX\l  
gmU0/z3&  

图片:untitled.jpg

                               Yw\7`  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 0VA$ Ige  
2&k5X-Y  

图片:untitled2.jpg

c^$+=-G{fd  
（b）达曼光栅衍射效率 Y(`# J[  
Z6`oGFq  
3）rsoft仿真 ?11\@d  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） +dt b~M  
6?CBa]QG  

图片:捕获77.JPG

                 8%Wg;:DZx  
（a）标量衍射结果结构图     pFUW7jE  
$;ssW"7~Qn  

图片:捕88获.JPG

VgoN=S  
（b）衍射效率             6z(eW]p  
3=SN;cn  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 "]"!"#aMv  
N?7vcN+-t)  

图片:1获.JPG

                       ZgXn8O[a  
（a）矢量衍射结果结构图   il)LkZ@  
JLZ[sWP='  

图片:捕获.JPG

                               nCj_4,O  
（b）衍射效率     #]BpTpRAe<  
w^.^XK4v.  
2、偶数型达曼光栅设计 w(y#{!%+  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 e2onR~Cf  

图片:捕获55.JPG

                     -9.Rmv#og{  
（a）结构图 <K#]1xCA  
r%QnV0L^  

图片:捕获66.JPG

$oJ)W@>  
（b）衍射效率                                                                     2K8?S  
)bM #s">Y  

图片:捕获55.JPG

                                   @k~_ w#  
（a）结构图 GmA5E  
LPOZA`  

图片:捕获66.JPG

       %?4G^f  
（b）衍射效率