[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 _~<sb,W  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 azPH~'E'  
g#5R||r  
1）标量衍射理论设计 fN&,.UB^p  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 yw^P
ok5.  
*~#I5s\s!  
         2u3Kyn  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Cj-
s  
                           i,6OMB $  
$}9jv3>)  
（b）达曼光栅衍射效率 GX>8B:]o|  
nK>CPqB^(  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 vqm|D&HU  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Coi[cfg0  
{L-^J`> G  
                               O^L]2BVC  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 1djZ5`+  
1oQw)X  
0AQazhm  
（b）达曼光栅衍射效率 )bUnk+_  
^O07GYF  
3）rsoft仿真 _Mw3>GNl  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） )w7vE\n3  
q$:1Xkl  
                 TM)INo^  
（a）标量衍射结果结构图     CMj =4e  
;UQGi}?CD  
? i{?Q,  
（b）衍射效率             W A/dt2D|  
Hjm> I'9  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ^ZwZz
e:2  
\+ se%O  
                       %*D=ni#(sT  
（a）矢量衍射结果结构图   3#7V1  
Z"`w>c.  
                               IWv 9!lW  
（b）衍射效率     Zxebv#4  
DQG%`-J  
2、偶数型达曼光栅设计 =pL$*`]?  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 m{IlRf'  
                     @:N8V[*u  
（a）结构图 *C_A(n5"V  
S;~eI8gQ"  
m?e/MQr  
（b）衍射效率                                                                     f_~T  
YVIE v  
                                   Kb;*"@LX  
（a）结构图 kWr1>})'  
K[T0);hZR  
       _XZ Gj:V  
（b）衍射效率