1、奇数型达曼
光栅设计
kcGs2Y_*& 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
5i `q ^x8*]Sz#x 1）标量衍射理论设计
' P5t tI#| 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
`p0+j GvQKFgO6h 
N.R, [K （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
y;aZMT. YI j:ze5FA+ 
6vy(@z （b）达曼光栅衍射效率
Jm0o[4 Z&BJ/qk
\- 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
fP<Tvf 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
2
u:w B SU%.tmI 
J=v"
HeVm （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
c4H5[LPF [HNWM/ff7+ 
H809gm3(Z （b）达曼光栅衍射效率
O_-Lm4g?4 `P/ 7M f 3）rsoft仿真
)\oLUuL`; 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
4L<h%
'Zn
Ne>yFl"u 
#2AK O/ （a）标量衍射结果结构图
-!w({rP }e[;~g\ & 
wNQhz.>y （b）衍射效率
=@BVO @z@ `?@7T-v rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
A6-K~z^ LEu _RU? 
l@:|OGD;8 （a）矢量衍射结果结构图
fH{ _ X fviq }. 
jNjm}8`t （b）衍射效率
l6kq P G!Gbg3:4e5 2、偶数型达曼光栅设计
/4K ^- 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
NW$_w 
]dvNUD （a）结构图
:&59N^So| $Sg5xkV,a 
04npY+1
8% （b）衍射效率
(tY 0/s E u;f~ V 
c_p7vvI&c0 （a）结构图
1^R[kaY {c|{okQ;Q 
ON r}{T%@/ （b）衍射效率
