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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 p`i_s(u # XD-a JrkjfoN !w[io; 设计任务 1;4]
HNI nnZ|oEF y@L-qO+{& v.ftfL! 1级参数优化 +cw;a]o^> _(q|W3 r95l.v e[lRY>Pe5 结果-容差分析 $6c8<!B_ "F*'UfOwrZ 73C 1f"LAs`% 结果-容差分析 f8DF>]WW p$5+^x'( =HF||p@ S&C VirtualLab Fusion一瞥 Use`E D&xbtJd 9\|n2$H: u,d@oF(= VirtualLab Fusion中的工作流程 qGE?[\t[6 }- Jw"|^W 构建光栅结构 t^=6czk −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] bIP'(B#1K −倾斜光栅高级设定[用例] ;plzJ6> •光栅衍射效率分析 K,>D%mJ −光栅阶序分析器[用例] ;btH[a iV •使用参数优化进行光栅参数优化 u= |hRTD= •使用参数运行的容差分析 4DL;/Z: ]Y3|*t(\ EcA@bZ0 rf% E+bh4 VirtualLab Fusion技术 #K3A{
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