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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 # xtH6\X  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,YD7p= PY  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3d}v?q78  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 UF"%FF  
    P%|~Ni_BTX  
    2. 系统 ?V6,>e_+  
    iil<zEic  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    3aW<FSgP  
    3. 透镜系统组件编辑 j_JY[sex  
    G9:XEEN  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 c~<;}ve^z  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +byOThuE  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m?w_ ]  
    包括序列光学表面和光学介质。 SAP/jD$5]>  
    gPd K%"B@  
    K6DN>0sY  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 6n]+(=  
    atyvo0fNd  
    33oW3vS  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 NO!Qo:  
    可以选择选取光线的方法: (p>|e\(]0  
    — 在x-y-网格 <YvXyIs  
    — 六边形 d{YvdN9d  
    — 自由选取 "\wMs  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    X%yG{\6:  
    !|[rh,e]  
    5. 系统的3维视图 %,\JTN|g|A  
    9@|52dz%  
    :a}](Wn  
    6. 其他系统参数 Yg&(kmm  
    系统由单色平面波照明 |nNcV~%~  
    照明波长266.08nm 8^>qor.]M  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x7S\-<8  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 UF+Qx/4h0  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 g~DuK|+  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Tz1^"tx9  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 B|m)V9A%-  
    s|\)Y*B`  
    wtS*-;W  
    xO|r<R7d7  
    s+:|b~  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 )ce 6~   
    p!pf2}6Fd  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    4aHogheg  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    +p%3pnj:K  
    0GUJc}fgvN  
    ~e}JqJ(97  
    n{gEIUo#  
    {w2] Is2F  
    WFF?VBT'^  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 COw"6czX/  
    `G$>T#Dq  
    W\l&wR  
    VirtualLab可用于计算点列图。 %0GwO%h},  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H~FI@Cf$L  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /"X_{3dq?  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .I^4Fc}&4  
    QoYEWXT|g  
    9. 焦平面上的结果 Wj.t4XG!  
    \B#tB?rA  
    ^*AI19w!Ys  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S)U*1t7[  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |.)LZP,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm S70#_{  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 7eCj p  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    s[8. l35|  
     I0mp[6  
    10. 总结 )Q=u[ p  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ):K%  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <D |&)/#  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $M}"u [Qq  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 BHr,jC  
     
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