1. 描述 ^BUYjq%(` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 R E}?5XHb ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 IC6gU$e ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 t^`O{m<
iP@ZM=&wz 2. 系统 |UP `B| $|]" W=h 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
tBNoI 3. 透镜系统组件编辑 Ad:TYpLD
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 J~B<7O<?!1
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {*[\'!d--.
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R-NS,i={
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ]V-W~r=
p`nPhk,:b !1n8vzs"c 4. 光线追迹系统分析器-选项 HODz*pI qzI&<4 >RPd$('T
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \
W?R
■ 可以选择选取光线的方法: e?`5>& Up
— 在x-y-网格 T|6jGZS^|W
— 六边形 Au{<hQ =
— 自由选取 {n/uh0>f*
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 z ^_*& 5~Cakd]> 5. 系统的3维视图 Rop'e 8Q 8%%f%y
b8$gx:aJ>$ 6. 其他系统参数 #?*WPq ■ 系统由单色平面波照明 g8Q5m=O* ■ 照明波长266.08nm @+'-ADX ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: QYa(N[~a — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /EibEd\ — 一个虚拟屏位于焦平面 uHH/rMV — 光束尺寸探测器置于焦平面 XO-Prs ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 lZyG)0t,g XW -2~?$ BBH0OiV= ZiYm:$CJ ysmNio 7. 光线追迹系统分析器的结果 SrFS# CNr/U*+ 光线经过整个光学系统的三维视图
)x}l3\s 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Vw#_68EybM CM<]ZG7 cTD!B% x 4|mD*o gXonF' o Y1';&BO9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 28/ ADZ [,K.*ZQi V[}4L|ad
■ VirtualLab可用于计算点列图。 NE/m-ILw
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \A#1y\ok
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 nSF``pp+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
WVmq% ,7
ZA Jp% 9. 焦平面上的结果
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:(a]V"(&Eq
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7_.11$E=H
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Rl qQ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm -b9;5eS!
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 UPc<gB
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 M
t*6}Cl /,MJq#@K 10. 总结 zaFt*~@X ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 jn%!AH ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 UK$ms~H ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %/c+`Wd/l$ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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