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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 [.gk{> #  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s#9q3JV0  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W [ l  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >'*%wf[{  
    b@Ej$t&  
    2. 系统 +>Wo:kp3  
    s1:Wrz?4  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    iW5cEI%tb  
    3. 透镜系统组件编辑 \}Jznzx;  
    e4S@ J/D  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 :@((' X(".  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F]ao Ty  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3UZd_?JI[^  
    包括序列光学表面和光学介质。 H;/do-W[  
    D*M `qPX~  
    *w+'I*QSt~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 R}nvSerVb  
    aLa<z Essz  
    |oY{TQ<<d  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2 XP }:e  
    可以选择选取光线的方法: m$T5lKn}U?  
    — 在x-y-网格 fN&,.UB^p  
    — 六边形 yw^Pok5.  
    — 自由选取 2u3Kyn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    AV5={KK  
    ;b<w'A_1  
    5. 系统的3维视图 TSB2]uH  
    ? doI6N0T  
    F.[%0b E  
    6. 其他系统参数 yHeL&H  
    系统由单色平面波照明 TeHJj`rdAU  
    照明波长266.08nm mTZ/C#ir(  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Qg4D*r\|@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4ud(5m;Rle  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 zI`I Q  
    光束尺寸探测器置于焦平面 #])"1fk  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 orGMzC2  
    YYWD\Y`8  
     LA3m,  
    ~; 9HGtg  
    .j]tzX  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 AO-5>r  
    F s/CW\  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    qM\ 2f<)  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    lw@Yn>eza  
    aU!}j'5Q  
    sscbf  
    Q((&Q?Vi  
    x~e._k=  
    Lq(=0U\"P  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1j?P$%p  
    f:>y'#P  
    UG2+Y']  
    VirtualLab可用于计算点列图。 $qNF /rF  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .9J^\%JD  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .?Eb{W)^br  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 & NYaKu,}  
    GcV/_Y  
    9. 焦平面上的结果 =pL$*`]?  
    m{IlRf'  
    @:N8V[*u  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4 &bmt  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 wm5&5F4:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 'O<b'}-A  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 MBWoPK  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    .p[uIRd`  
    &g :(I  
    10. 总结 vk7IqlEQ  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VVJ0?G (?  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 1eI*.pt  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &^`Wtd~g  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 6#z8 %k aX  
     
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