切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1096阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    5418
    光币
    21270
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 }]PHE(}7  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %Zbm%YaW5  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P.5l9N s(O  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =4co$oD}  
    1kw*Q:   
    2. 系统 )5LT!14  
    (XW'1@b  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    =JgR c7  
    3. 透镜系统组件编辑 [U8/nT  
    ZJQFn  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <+-n lK4  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Hz."4nhv  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &Cv  
    包括序列光学表面和光学介质。 lZ.lf.{F  
    }8#Ed;%K  
    L!zdrCM  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 kHylg{i{"  
    FZ ?eX`,  
    q(:L8nKT]  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "n` z`{<n  
    可以选择选取光线的方法: Q,^/Lm|]k  
    — 在x-y-网格 )LIn1o_,  
    — 六边形 7/51_=%kR  
    — 自由选取 u*;H$&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    NytTyk)  
    y|KQ`;  
    5. 系统的3维视图 R"V90bCf  
    rMi\#[o B  
    2Kz$y JTp  
    6. 其他系统参数 ]6[+tpx  
    系统由单色平面波照明 GT6i9*tb #  
    照明波长266.08nm (C#0 ML  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能:  IPK1g3Z  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?L7DVwVa,I  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 (0b\%;}  
    光束尺寸探测器置于焦平面 S-q"'5>  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Yq6 @R|u  
    Y;_F,4H  
    8|=C/k  
    4n6AK`E  
    ,++HiYOG}e  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 t^"8M6BqC;  
    4RB%r  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Cm)TFh6  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    bUm%#a  
    T=tW'tlT\v  
    .=J- !{z  
    ]zaTX?F:  
    )MF@'zRK  
    <3BGW?=WP  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 3kC|y[.&  
    cMZy~>  
    /X.zt `  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Od~uYOL/B  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V<S6 a  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 t e-xhJ&K  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 MWA,3I\.  
    %K|f,w=m  
    9. 焦平面上的结果 3`%E;?2  
    M-i3_H)  
    ajk}&`Wj"  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h>D;QY  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 n'V{  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Slg *[r#  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 C{85#`z`  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    r YKGX?y  
    ?[zw5fUDS  
    10. 总结 uq s   
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 4h|*r !  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 gR# k'   
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6R<+_e+v  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7:?\1 a  
     
    分享到