1. 描述 [.gk{> # ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s#9q3JV0 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W[ l ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >'*%wf[{
b@Ej$t& 2. 系统 +>Wo:kp3 s1:Wrz?4 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
iW5cEI%tb 3. 透镜系统组件编辑 \}Jznzx;
e4S@ J/D
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 :@(('X(".
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F]aoTy
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3UZd_?JI[^
■ 包括序列光学表面和光学介质。 H;/do-W[
D*M `qPX~ *w+'I*QSt~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 R}nvSerVb aLa<zEssz |oY{TQ<<d
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2XP
}:e
■ 可以选择选取光线的方法: m$T5lKn}U?
— 在x-y-网格 fN&,.UB^p
— 六边形 yw^Pok5.
— 自由选取 2u3Kyn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 AV5={KK ;b<w'A_1 5. 系统的3维视图 TSB2]uH ?doI6N0T F.[%0b E 6. 其他系统参数 yHeL&H ■ 系统由单色平面波照明 TeHJj`rdAU ■ 照明波长266.08nm mTZ/C#ir( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Qg4D*r\|@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4ud(5m;Rle — 一个虚拟屏位于焦平面 zI`I
Q — 光束尺寸探测器置于焦平面 #])"1fk ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 orGMzC 2 YYWD\Y`8
LA3m, ~; 9HGtg .j]tzX 7. 光线追迹系统分析器的结果 AO-5>r Fs/CW\ 光线经过整个光学系统的三维视图
qM\
2f<) 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
lw@Yn>eza aU!}j'5Q s scbf Q((&Q?Vi x~e._k= Lq(=0U\"P 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1j?P$%p f:>y'#P UG2+Y']
■ VirtualLab可用于计算点列图。 $qNF /rF
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .9J^\%JD
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .?Eb{W)^br
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 & NYaKu,}
GcV/_Y 9. 焦平面上的结果 =pL$*`]?
m{IlRf'
@:N8V[*u
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4 &bmt
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 wm5&5F4:
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 'O<b'}-A
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 MBWoPK
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 .p[uIRd` &g:( I 10. 总结 vk7IqlEQ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VVJ0?G
(? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 1eI*.pt ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &^`Wtd~g ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 6#z8 %kaX