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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ^BUYjq%(`  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 RE}?5XHb  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 IC6gU$e  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 t^`O{m<  
    iP@ZM =&wz  
    2. 系统 |UP `B|  
    $|]" W=h  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    tBNoI  
    3. 透镜系统组件编辑 Ad:TYpLD  
    xO1[>W  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 J~B<7O<?!1  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {*[\'!d--.  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R-NS,i={  
    包括序列光学表面和光学介质。 ]V-W~r=  
    p`nPhk,:b  
    !1n8vzs"c  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 HODz*pI  
    qzI&<4  
    >RPd$('T  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \ W?R  
    可以选择选取光线的方法: e?`5>& Up  
    — 在x-y-网格 T|6jGZS^|W  
    — 六边形 Au{<hQ =  
    — 自由选取 {n/uh0>f*  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    z^_*&  
    5~Cakd ]>  
    5. 系统的3维视图 Rop'e8Q  
    8 %%f%y  
    b8$gx:aJ>$  
    6. 其他系统参数 #?*WPq  
    系统由单色平面波照明 g8Q5m=O*  
    照明波长266.08nm @+'-ADX  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: QYa(N[~a  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /EibEd\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 uHH/rMV  
    光束尺寸探测器置于焦平面 XO-Prs  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 lZyG)0t,g  
    XW -2~?$  
    BBH0OiV=  
    ZiYm:$CJ  
    ysmNio  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 SrFS#  
    CNr/U*+  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    )x}l3\s  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Vw#_68EybM  
    CM<]ZG7  
    cTD!B% x  
    4|mD*o  
    gXonF'  
    oY1';&BO9  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 28/ ADZ  
    [,K.*ZQi  
    V[}4L| ad  
    VirtualLab可用于计算点列图。 NE/m-ILw  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \A#1y\ok  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 nSF``pp+  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 WVmq% ,7  
    ZAJp%   
    9. 焦平面上的结果 B3H|+  
    :(a]V"(&Eq  
    y" 6y!  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7_.11$E=H  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 RlqQ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm -b9;5eS!  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 UPc<gB  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    M t*6}Cl  
    /,MJq#@K  
    10. 总结 zaFt*~@X  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 jn%!AH  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 UK$ms~H  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %/c+`Wd/l$  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 S#-wl2z  
     
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