1. 描述 #xtH6\X ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,YD7p= PY ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3d}v?q78 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 U F"%FF
P%|~Ni_BTX 2. 系统 ?V6,>e_+ iil<zEic 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3aW<FSgP 3. 透镜系统组件编辑 j_JY[sex
G9:XEEN
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 c~<;}ve^z
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +byOThuE
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m?w_
]
■ 包括序列光学表面和光学介质。 SAP/jD$5]>
gPd
K%"B@ K6DN>0sY 4. 光线追迹系统分析器-选项 6n]+(= atyvo0fNd
33oW3vS
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 NO!Qo:
■ 可以选择选取光线的方法: (p>|e\(]0
— 在x-y-网格 <YvXyIs
— 六边形 d{YvdN9d
— 自由选取 "\wMs
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 X%yG{\6: !|[rh,e] 5. 系统的3维视图 %,\JTN|g|A 9@|52dz% :a }](Wn 6. 其他系统参数 Yg&(kmm ■ 系统由单色平面波照明 |nNcV~%~ ■ 照明波长266.08nm 8^>qor.]M ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x7S\-<8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 UF+Qx/4h0 — 一个虚拟屏位于焦平面 g~DuK|+ — 光束尺寸探测器置于焦平面 Tz1^"tx9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 B|m)V9A%- s|\)Y*B` wtS*-;W xO|r<R7d7 s+:|b~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 )ce 6~ p!pf2}6Fd 光线经过整个光学系统的三维视图
4aHogheg 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
+p%3pnj:K 0GUJc}fgvN ~e}JqJ(97 n{gEIUo# {w2]
Is2F WFF?VBT'^ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 COw"6czX/ `G$>T#Dq W\l&wR
■ VirtualLab可用于计算点列图。 %0GwO%h},
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H~FI@Cf$L
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /"X_{3dq?
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .I^4Fc}&4
QoYEWXT|g 9. 焦平面上的结果 Wj.t4XG!
\B#tB?rA
^*AI19w!Ys
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S)U*1t7[
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |.)LZP,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm S70#_{
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7eCjp
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 s[8. l35| I0mp [6 10. 总结 )Q=u[ p ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ):K% ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <D|&)/# ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $M}"u[Qq ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 BHr ,jC