1. 描述 \% !]qv ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 RPPxiYU^ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *:\-:* ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 @jN!j*Y H
X&MO} 2. 系统 g$ZgR)q 7on$}=% 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
HGfYL')Z 3. 透镜系统组件编辑 k^z)Vu|f.
] $$ciFM
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Df||#u=n
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .
Uv7{(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x`{ni6}
■ 包括序列光学表面和光学介质。 K:z|1V
G~a;q+7v'$ Sq/M
%z5' 4. 光线追迹系统分析器-选项 91E!4t}I U|g4t=@ZR kR7IZo"q
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 .sAcnf"
■ 可以选择选取光线的方法: Zg5@l3w
— 在x-y-网格
'`T.K<
— 六边形 VhT4c+Zs
— 自由选取 60[f- 0X
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 JMuUj_^}7 FlOKTY 5. 系统的3维视图 gEIjG (-(,~E
7n,nODbJ 6. 其他系统参数 -9} ]J\ ■ 系统由单色平面波照明 ^>h
9< ■ 照明波长266.08nm z[0L?~$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "^;'.~@e8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }/x `w — 一个虚拟屏位于焦平面 FfI$3:9 — 光束尺寸探测器置于焦平面 PQWo<Uet ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j,/OzVm9 ppR~e*rv- OQ
5{# ?#ndMv!$ <'v?WV_ 7. 光线追迹系统分析器的结果 ;.V5:,& yf*MG&} 光线经过整个光学系统的三维视图
SY`NZJK 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
_Z#yI/5r E+dr\Xhv zc'!a" *oY59Yf 2[[pd&MJZ Z7JI4" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 MkC25 tB &D~M6[ 6NZ3(
■ VirtualLab可用于计算点列图。 RxAWX?9Z
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]d9;YVAU
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 JiDX|Q<c
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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voUS 9. 焦平面上的结果 N12K*P[!
_{_LTy%[
UB|Nx(V s
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (jPN+yQ
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .Ig`v
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm >9esZA^';
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 uWG'AmK_#E
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
kej@,8 *P$5k1 10. 总结 q_g'4VZv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;pU9ov4) ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $A7[?Ai ? ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Z]1~9:7ap ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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