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    [分享]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-09
    摘要 vYNu=vnM  
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    5: vy_e&  
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 C ^ 1;r9  
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    建模任务 =z4kK_?F,  
    ~]78R!HJ  
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    /SKgN{tWe  
    观测倾斜平面 !Ct'H1J-  
    ~JX+4~qT  
    $.KD nl^  
    ueP a4e!  
    观测柱面 G F17oMi  
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    #xNXCBl]O  
    \(;X3h  
    观测球面 IRK(y*6  
    JXAH/N& i  
    I%tJLdL  
    U}:e-  
    走进VirtualLab Fusion /2Qgg`^)  
    E3d# T  
    j6#RV@ p`  
    [`U9  
    VirtualLab Fusion的工作流程 &uLC{Ik}  
     设置输入场 56!/E5qgW  
    - 基本光源模型 [教学视频] (4"Azo*~![  
     使用表面构造真实元件 n]a/nv  
    hWAZP=H  
     定义元件的位置和方向 Y N*"q'Yz_  
    - LPD II:位置和方向 [教学视频] eG08Xt |lc  
     为非序列场追迹设置合适的通道 +ieRpVg  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] |yYu!+U  
     IA{I|g<  
    P<MNwdf(+  
    B`/p[U5  
    VirtualLab Fusion技术 MB!$s_~o#L  
    woyeKOr  
    c5AEn -Q  
    egh_1Wg2a  
    文件信息 3fhlMOm  
    -=VGXd  
    @DniYt/  
    U`)o$4Bq  
    1%k$9[!l%  
    QQ:2987619807 gFAtIx4  
     
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