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摘要 UVz=QEuYb 3(MoXA* d:A\<F Rk}\)r\ 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 wj}=@HS,3! |!{z?
i 建模任务 2=jd;2~ eH ;Wfs2f Tnf&pu#5 q
sv+.aW 观测倾斜平面 H~~7~1"x r5D jCV" SL6mNn9c mfj4`3:NV 观测柱面 B0 6s6Q H0: iYHu 5T~3$kuO ;gZwQ6)i 观测球面 i6-wf Gs; <]Ij(+J; Mi;}.K0J NYWG#4D 走进VirtualLab Fusion Q&oC]u(="& RpBiE8F4 Ly#h|) pWWL{@ J VirtualLab Fusion的工作流程 hu bfK~ 设置输入场 /X(@|tk: - 基本光源模型 [教学视频]
f$:7A0 使用表面构造真实元件 >t1_5 0!9?H1> 定义元件的位置和方向 xI=}z - LPD II:位置和方向 [教学视频] >wz;}9v 为非序列场追迹设置合适的通道 k98< s - 非序列场追迹的频道设置 [用例] 8[6ny=S` bBkm]
> zvek2\*rO Wl^prs7}c VirtualLab Fusion技术 CL)1Q .V5q$5j 6{JR 0 [;>zqNy 文件信息 _hAj2%SL Hs:4I "D
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, QQ:2987619807 v`[Tl
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