切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 4628阅读
    • 0回复

    [求助]关于磁控溅射 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线mainbomb
     
    发帖
    31
    光币
    9
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-03-11
    磁控溅射的靶在用一段时间之后,在靶边缘的特定区域总是会发蓝,尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶,请问是怎么回事?还有溅射镀膜的均匀性不好,有什么可以改善的方法吗?
     
    分享到