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1.Horos—光学粗糙度传感器。 Q4JvFy0' 2.测量样本。 %:
.{?FB_ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 d|8iD`sZz 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 /2\%X`]< zz+p6` 系统简介 / NlT[@T
0{GpO 6! 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 )|@ H#kv? *1 [v08?! 特征及技术参数 P5*~ Wi`
C'c9 AoE5> - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 CrIt h/Z - 灵敏度R_q<0.5 nm ~yvOR`2Gg - 测量时间： < 1 s。 Uc3-n`C - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 _@47h86 Q lV0\UySH h^ D]@H 传感器： m% {4
LJ|2=lI+jb Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 YIQm;E EG 6SIk,Isy8 应用： 1*"t-+|
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： T&] J3T FJ - 平面或复杂（自由形状）表面。 =a<};X - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 !P &F6ViO= - 机械零件。 9p#Laei]. - 汽车工业。 wf<=r W' AIvIQ$6}
K;u<-?En QQ：2987619807 %Hk9.1hn5
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