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n\p\*wb 1.Horos—光学粗糙度传感器。 TmZ[?IL, 2.测量样本。 [$Bb'],k 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 aM}"DY-_
h 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 k0uwG'(z9 Cb-E<W&2D 系统简介 XFe7qt;% 6EWB3.x19 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 L=FvLii. Y-{BY5E. 特征及技术参数 "kg$s5o A:J{ - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 Y--8v#t - 灵敏度R_q<0.5 nm bD-Em#> - 测量时间: < 1 s。 A+DYIS - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 eV%bJkt. 291|KG *?"{T;4u~O 传感器: nGd :J-5Q]# Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 y]%,Y=%X %"^XxVJ* 应用: {3Wc<&D
C1 _=x_"rzx 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: AwrK82 - 平面或复杂(自由形状)表面。 .p}Kl$K] - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 hyoZh Y - 机械零件。 BF!zfX?n - 汽车工业。 N+75wtLy& a $%[!vF ;VRR=p%, QQ:2987619807 rv%[?Ml
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