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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ed#Hilk'  
    ypTH=]y  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ]-w.x ]I  
    @M(+YCi:e@  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 aOmQ<N]a  
    `pd+as  
    所需工具箱子:光栅工具箱 VexQ ]  
    yM?jiy  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 P#,g5  
    ]OC?g2&6  
    建模任务 L,sXJ23.  
    aBKJd  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ?|GwuG8g  
    I%mGb$ Q  
    CmtDfE  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 R`%O=S*]  
    Tqx  
     N1dM,H  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ;4*mUD6  
    zHXb[$ Q  
    p '=XW#2 >  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    p7,dl*'  
    J+qcA}  
    41i#w;ojI  
    %eJE@$  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 *>jJ<8!  
    "]yfx@)_  
    |bk$VT4\  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 stq%Eg?  
    -g4 {:!*D  
    r@G34Q C+  
    X线偏振光模拟结果:
    jB\Knxm v  
    ;@<e]Ft  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 c,5yH  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 F7`[r9 $  
    lkb,UL;V  
    8q|T`ac+N  
    Y线偏光模拟结果 s 5F?m  
    X>eFGCz}I  
    g`41d  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。  SB^xq  
    结论: h:r:qk  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 35~1$uRA  
    QQ:2284816954 备注:光学
    #$u7:p [t  
     
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