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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ed#Hilk'
ypTH=]y 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ]-w.x]I @M(+YCi:e@ 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 aOmQ<N]a `pd+as 所需工具箱子:光栅工具箱 VexQ ] yM? jiy 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 P#,g5 ]OC?g2&6 建模任务 L,sXJ23. aBKJd 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ?|GwuG8g I%mGb$Q CmtDfE 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 R`%O=S*] Tqx N1dM,H 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ;4*mUD6 zHXb[$Q p'=XW#2 > 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 p7,dl*' J+qcA} 41i#w;ojI %eJE@$ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 *>jJ<8! "]yfx@)_ |bk$VT4\ 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 stq%Eg? -g4 {:!*D r@G34QC+ X线偏振光模拟结果: jB\Knxm v ;@< e ]Ft 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 c,5yH 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 F7`[r9 $ lkb,UL;V 8q|T`ac+N Y线偏光模拟结果 s 5F?m X>eFGCz}I g` 41d 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 SB^xq 结论: h:r:qk 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 35~1$uRA QQ:2284816954 备注:光学 #$u7:p
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