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    [求助]投影系统 [复制链接]

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    离线clgxy123
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-20
    我自己算指标，算出来投影系统的F数是0.4，但是看别人的F数最小也是1.2，我想知道这个F数大概多少合适，该怎么调整
     
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    离线沙突兀
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-03-20
    F数0.4你知道是什么概念吗，艾里斑半径是300nm，很大一部分显微镜物镜都没到这么小的F数，你算的必然有问题。除非你是要搞光刻
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    离线koono
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-10-22
    1.7左右已经可以达到2k的分辨率了
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