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    [分享]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-05
    摘要 6Z3L=j  
    /V@9!  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 a6i%7Om  
    0'0GAh2  
    '9d] B^)F  
    傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) w4e(p3  
    %ryYa  
    建模任务 7awh__@  
    q t!0#z8  
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    单次FMM仿真结果 #?EmC]N7  
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    SV0h'd(b  
    w5uOkz #  
    参数扫描(1D) U sS"WflB  
    %RS8zN  
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    参数扫描(2D) ic(`Ev  
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    S)$iHBx{  
    sw^4h`^'  
    文件信息 6_wj,7  
    -\V!f6Q  
    84}Pu%  
    L&LK go  
    $)6%LG_@  
    QQ:2987619807 5.3=2/  
     
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