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摘要 6Z3L=j /V@9! 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 a6i%7O m 0'0GAh2 '9d]
B^)F 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) w4e(p 3 %ryYa 建模任务 7awh__@ qt!0#z8 7$u}uv`j Zw<\^1 单次FMM仿真结果 #?EmC]N7 %^CoWbU SV0h'd(b w5uOkz # 参数扫描(1D) U sS"WflB %RS8zN a08`h.dyN zLda+ 参数扫描(2D) ic(`E v ;Wu6f"+Y# S)$iHBx{ sw^4h`^' 文件信息 6_wj,7 -\V!f6Q 84}Pu% L&L |