如何将光聚焦到一个越来越小的光斑上,是光学领域中一直存在的问题,特别是最近,已发展出各种旨在深聚焦光的方法。研究高数值孔径条件下的光聚焦通常需要全矢量电磁仿真技术。我们使用VirtualLab Fusion软件演示了不同偏振态(如径向)和孔径形状(如环形)对聚焦区域电磁场的影响,这种分析既可以用理想透镜,也可以用具有明确结构和材料信息的真实透镜进行。 x{G 'IEf h'vBWtMa 用消球差透镜对各种偏振光束进行深聚焦 bQN3\mvY
ZcHIk{| VirtualLab Fusion中的消球差透镜模型,为分析具有不同形状孔径的各种偏振矢量场的聚焦效果,提供了一种简便的方法。 I+3=|Vef
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分析高NA物镜聚焦
@0tX,Z9 j}J=ZLr/V" 高NA物镜广泛应用于光刻、显微等领域。在对这种聚焦系统的仿真中,考虑光的矢量特性是非常重要的。 T.%yeJiE 8090+ (U
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